Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293775899 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist eine automatisierte Ätz-/Ascheausrüstung und wurde entwickelt, um sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse auf mehreren Wafern in einem einzigen Werkzeug mit nassen und trockenen Prozessfähigkeiten durchzuführen. Dieses System ist zuverlässig, effizient und kostengünstig. Der Kiyo ist mit automatisierten Wafertransporten, Wafer-Handling und Wafer-Kühlfunktionen für mehrere Wafer ausgestattet. Es umfasst eine in sich geschlossene Prozesskammer und ist aus robustem, korrosionsbeständigem Edelstahl gefertigt, um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Die Kammer sorgt für einheitliche thermische und Prozessbedingungen über alle Wafer hinweg und ermöglicht eine gleichmäßige Ätz- oder Aschleistung. Diese Einheit ist auch mit einem Quarzkantenring ausgestattet, der die Gleichmäßigkeit maximiert und die Wiederablagerung von Prozessmaterial minimiert. Der Kiyo ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen im Bereich von 2-8 Zoll Waferdurchmesser zu handhaben. Es ist in der Lage, hochdichte Materialien wie Wolfram und Polysilizium zu ätzen und zu aschen, was verschiedene Eigenschaften hat, darunter Wände und Vias mit hohem Seitenverhältnis. Diese Maschine ist auch in der Lage, kleine Durchgänge, Einschlüsse und andere Funktionen mit hohem Seitenverhältnis von 0,1 Mikron bis 0,5 Mikron zu verarbeiten. Der Kiyo wurde entwickelt, um wiederholbare, genaue Ätz- und Ascheleistungen zu bieten. Es ist mit Hochgeschwindigkeitsreglern, präzise abgestimmten Massenflussreglern und einem digitalen Prozessregler mit Echtzeit-Datenerfassungsfähigkeit ausgestattet. Das Werkzeug ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu ätzen und zu waschen, was einen extrem schnellen Verarbeitungsdurchsatz ermöglicht. Es verfügt über eine zuverlässige, einstellbare und temperaturgesteuerte Abgabe von Prozessgasen für geätztes und aschendes variabler Geschwindigkeit. Der Kiyo ist mit einer zweistufigen Vakuumanlage zum Be- und Entladen von Wafern ausgestattet. Es hat auch ein automatisiertes Wafer-Reinigungsmodell, das ozonfreie laminare Strömung zur Tiefenreinigung verwendet. Dieses Gerät umfasst auch ein Online-Wafer-Messsystem, das Genauigkeit und Wiederholbarkeit von geätzten und ashten Funktionen gewährleistet. Insgesamt ist 2300 Kiyo Ätz-/Ascheeinheit eine effiziente und kostengünstige Maschine, die qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheleistungen erzeugt.