Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293829181 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist eine revolutionäre Ätz- und Aschermaschine der LAM RESEARCH Corporation, die eine zuverlässige, wiederholbare und effiziente Verarbeitung von Gerätefunktionen ermöglicht. Es verfügt über zwei vor- und nachgelagerte Ätzsysteme - das Advanced Etch and Ash System (AEAS) und die High Etch and Ash Unit (HEAS). Die integrierten KI-basierten erweiterten Rezepturen ermöglichen eine genaue Kontrolle des Ätz- und Ascheprozesses, um überlegene Gerätestrukturen ohne Beschädigung der Siliziumstruktur zu erreichen. Die AEAS-Maschine ermöglicht ein schnelles Ätzen der Gerätearchitektur mit extrem hohen Raten und die Möglichkeit, Prozessparameter für jede Form anzupassen. Dadurch kann das Werkzeug bemerkenswerte Ausbeuten bei ausgezeichneter Wiederholbarkeit erzielen. Das HEAS-Asset bietet darüber hinaus die Flexibilität, sowohl tiefen Ätz- als auch flachen Ätzanforderungen gerecht zu werden und gleichzeitig eine überlegene Funktionstreue zu gewährleisten. 2300 Kiyo verfügt auch über ein hochauflösendes Bildverarbeitungsmodell, das eine präzise Überwachung der Funktionen auf Werkzeugebene ermöglicht. Dies in Kombination mit automatisierten Inspektions- und Auto-Kompensationsfunktionen ermöglicht eine genaue und wiederholbare Ausführung der Gerätestruktur. Darüber hinaus bieten erweiterte Überwachungsfunktionen Einblicke in die Prozesssteuerungsparameter und ermöglichen eine Ferneinstellung bei Prozessdrift. Einzigartig bei LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist die Trennung der Ätz- und Metallabscheidungsstufen, die höhere Geräteerträge, reduzierte Inspektionszeiten und eine hervorragende Nachverarbeitungsleistung bieten. Die fortschrittlichen Uniformitätsfähigkeiten von Kante zu Kante sorgen für eine gleichmäßige Filmabscheidung innerhalb enger Toleranzen, um qualitativ hochwertige Merkmalsstrukturen zu erzeugen. Darüber hinaus bietet das System komplette messtechnische Fähigkeiten. Die Auto-Kompensationsfunktionen ermöglichen schnelle Messungen der Düsencharakteristik, was eine bessere Kontrolle und verbesserte Ausbeute ermöglicht. Das Gerät bietet außergewöhnliche Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit bei minimalem Energieverbrauch und ist damit eine ideale kostengünstige Lösung für Ätz- und Veraschungsanforderungen. Mit einer Kombination aus hoher Leistung und Wiederholbarkeit ist 2300 Kiyo eine hochmoderne Ätz- und Aschermaschine, die sicher einen neuen Standard in der Produktivität setzt.
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