Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9161714 zu verkaufen

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ID: 9161714
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Etcher, 12" Notch wafers Software OS: Windows Non-SMIF type Automation online component: SECE Y2K Completion: Yes 2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der den Anforderungen der Halbleiterhersteller gerecht wird. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Anforderungen zum Ätzen und Waschen von Wafern, Substraten und anderen Materialien auf präzise und konsistente Weise zu bewältigen. Der Ätzer ist in der Lage, mit einer Vielzahl von großen Wafern zu arbeiten und kann bis zu drei Schichten verschiedener Oxide oder Nitride auftragen. Der fortschrittliche Ätzer ist mit einer polygonalen Mehrkopf-Sputterausrüstung gebaut, so dass er einen weiten Bereich mit Leichtigkeit abdecken kann. Es wird von einer Reihe von Vakuumkammern angetrieben, die entworfen sind, um die Ätzumgebung zu schaffen. Jede Kammer hat eine eigene Sputterpistole, die zum Ätzen des Materials verwendet werden kann, oder eine optisch fokussierte Ionenpumpe, die für schnelle Ionenbeschuss verwendet werden kann. Der Ätzer enthält auch einen Lastverriegelungsmechanismus, um die Materialintegrität während der Ätzbearbeitung zu gewährleisten. 2300 Kiyo Ätzer ist mit einer Reihe von fortschrittlichen Steuerungs- und Überwachungssystemen ausgestattet. Dazu gehören ein zweiachsiger Regler zur präzisen Gasflussregelung, ein Satz Vakuumsensoren zur Überwachung von Prozessdrücken und ein fortschrittlicher digitaler Temperaturregler zur präzisen Temperaturregelung. Der Ätzer verfügt auch über eine Reihe von Prozeßdiagnosesystemen, wie ein Ende des Zyklusdatenerfassungssystems, eine Plasmadiagnoseeinheit und eine Lichtbogenerfassungsmaschine. LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist ein zuverlässiges und robustes Werkzeug für die Herstellung hochwertiger integrierter Schaltungen. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) und die automatisierte Prozesssteuerung ermöglichen eine effiziente Produktion und ermöglichen es den Betreibern, auf erweiterte Prozesseinstellungen zuzugreifen. Um eine hervorragende Waferausbeute zu gewährleisten, verfügt das Werkzeug über eine Reihe von optionalen Merkmalen. Dazu gehören ein Autofokus-Tool, ein Ozon-Monitor und ein optionales In-situ-Erkennungsgerät. Zusätzlich kann ein optionales Datenprotokollierungsmodell verwendet werden, um die Ätzleistung der Geräte im Laufe der Zeit zu überwachen und den Bedienern ein besseres Verständnis des Prozesses zu vermitteln. Zusammen machen diese Funktionen 2300 Kiyo zu einem leistungsstarken und vielseitigen Ätz- und Aschewerkzeug.
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