Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9195889 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Kiyo
ID: 9195889
Wafergröße: 12"
Multi-process etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist eine voll ausgestattete Trockenätz-/Aschemaschine, die für physikalisch-chemische Ätzanwendungen bei der Montage und Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Mit Hilfe der hochmodernen induktiv gekoppelten Plasmaentladungstechnologie (ICP) wurde 2300 Kiyo entwickelt, um ein präzises Ätzen mit Stabilität und Genauigkeit zu ermöglichen. Dieses System ist für den Einsatz mit einer Vielzahl von Verzweigungstiefen und Produktionsraten bestimmt, einschließlich der Fertigungsprozesse für flache Verbindungsstellen (SJT) und tiefe Verbindungsstellen (DJT). Mit dem Mehrkammerdesign reduziert das Gerät den Zeitaufwand für die Produktumstellung und ermöglicht so effizientere und kostengünstigere Produktionsmethoden. LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist ein fortschrittlicher Trockenätzer. Es verwendet drei Hauptkomponenten, um hochpräzises Ätzen zu liefern - eine mehrstufige Vakuumkammer, eine induktionsgekoppelte Plasmaentladungsquelle (ICP) und eine elektronische digitale Steuerung (EDC). Die Vakuumkammer enthält sechs Teleskopbearbeitungsplattformen und liefert eine Gesamtkapazität von bis zu fünfmal atmosphärischem Druck, was zur Optimierung der Verarbeitungszeiten beiträgt. Die ICP-Quelle wurde entwickelt, um Lichtbogen bei Hochleistungsanwendungen zu verhindern und eine breite Palette von Plasmaleistung zu liefern. Und das EDC-Tool bietet genaue und wiederholbare Prozesssteuerung sowie Echtzeit-Datenüberwachung, um die Vermögensleistung zu messen. Das 2300 Kiyo-Modell ist für den Einsatz in der mehrstufigen Verarbeitung optimiert und ermöglicht schnelle Übergänge zwischen Ätz- und Plasmaverbesserungsmodus. Es bietet auch hochpräzise Ätzanwendungen für Fertigungsprozesse mit flacher Verbindung (SJT) und tiefer Verbindung (DJT). Unter Verwendung einer All-inclusive-Prozeßgasverpackung ist die Anlage in der Lage, eine Vielzahl von Ätzchemikalien zu handhaben, darunter Chlor, Sauerstoff, Stickstoff, Chlortrifluorid, Bortrichlorid und andere Chemikalien auf Halogenbasis. Das System ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und automatisierter Technologie konzipiert, die ein umfassendes Angebot an Betriebs- und Prozessrezepten ermöglicht. Die intuitive Benutzeroberfläche macht es einfach, den Fortschritt des Ätzprozesses zu programmieren und zu überwachen. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH 2300 Kiyo über eine Reihe von Datenanalyse-Tools, die Anwendern helfen, fundierte Entscheidungen bei der Auswahl von Prozessen, Rezepten und Materialien zu treffen. 2300 Kiyo ist eine fortschrittliche Einheit, die für eine Vielzahl von Ätzanwendungen geeignet ist und robuste Prozessfähigkeiten bietet. Es ist für den Einsatz in Produktions- und Montageumgebungen konzipiert und bietet zuverlässige und wiederholbare Ätzleistung. Mit seinen hochpräzisen Funktionen und einer umfassenden Palette von Werkzeugen und Technologien bietet LAM RESEARCH 2300 Kiyo eine effiziente, kostengünstige Lösung zum Ätzen von Halbleiterbauelementen.
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