Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9372748 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Kiyo
ID: 9372748
Wafergröße: 12"
Metal etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist ein hochmoderner Trockenätzer/Ascher zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Diese Ausrüstung wurde für hohe Präzision, hohen Durchsatz und Gleichmäßigkeit konzipiert. Die fortschrittliche Plasmaquellentechnologie und das Kammerdesign des Systems bieten überlegene Gleichmäßigkeit und Homogenität bei Ätzraten. Es ist in der Lage, hochwertige dielektrische Ätzungen und andere dünne Filme für modernste Technologien wie MEMS und Leistungselektronik zu produzieren. Der Kiyo nutzt RIE- und RF-MFR-Ätztechnologien für überlegene Ätzergebnisse. Der Stromgenerator hält bei jedem Ätzzyklus einen hohen Durchsatz und qualitativ hochwertige Ätzergebnisse. Eine präzise Inline-Messtechnik bietet In-Line-Echtzeit-Ätzratenkontrolle und Post-Process-Analyse, um sicherzustellen, dass das Ätzergebnis die gewünschten Spezifikationen erfüllt. Der Kiyo umfasst eine Prozessreaktorkammer, die eine Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit von Plasmaprozessen ermöglicht. Die Kammer ist mit dem Plasmagenerator verbunden, der die für den Betrieb des Ätzvorgangs erforderliche Hochfrequenzleistung erzeugt. Die Maschine umfasst auch eine Wafer-Transferstation, die es dem Bediener ermöglicht, die Wafer zum Ätzen mit manueller oder automatischer Beladung zu be- und entladen. Neben der Radierung bietet der Kiyo auch Veraschungsmöglichkeiten. Asche ist eine Form der Plasmareinigung, die Material von der Oberfläche des Wafers entfernt, einschließlich Photoresist und anderen organischen oder anorganischen Verunreinigungen. Ashing ist ein entscheidender Bestandteil vieler Fertigungsprozesse und wird verwendet, um die Schutzpläne für Halbleiterbauelemente zu erstellen. 2300 Kiyo ist ein effizienter und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der eine ideale Leistung für die Produktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bietet. Seine präzise Inline-Messtechnik und Steuerungswerkzeug ermöglichen höchste Genauigkeit für effiziente Fertigungsprozesse. Das Asset ermöglicht sowohl Batch- als auch Single-Wafer-Verarbeitung, die Flexibilität für verschiedene Anwenderanwendungen bietet. Das Modell ist auch in der Lage, komplette Prozessrezepte aus einem einzigen Controller auszuführen, was eine kostengünstige und effiziente Verarbeitung ermöglicht.
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