Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x #9212622 zu verkaufen

ID: 9212622
Weinlese: 2008
Chamber 2008 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x Ätzer ist eine automatisierte chemisch-mechanische Polierausrüstung (CMP), die für fortschrittliche dielektrische und Metallätzschichtverarbeitung für Chip-Entwicklungsanwendungen entwickelt wurde. Das Kiyo3x System bietet eine verbesserte Planarisierung und Funktionsprofilsteuerung für kritische dielektrische und metallische CMP-Anwendungen, was zu verbesserter Geräteausbeute, geringeren Gesamtbetriebskosten und optimaler Prozessintegration führt. Das LAM 2300 Kiyo3x verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Komponenten, darunter die patentierte Micro-Positioning Unit (MPS), die eine präzise und wiederholbare Substratausrichtung und Bewegung zwischen zwei mechanischen Stufen ermöglicht. Dies ermöglicht die Wiederholbarkeit auf Mikroniveau für extrem gleichmäßige Ätzschichtergebnisse. Das Kiyo3x kann mit bis zu zwei Flüssigkeitsreglern und zwei LAM Endura modellierten CMP-Prozessen ausgestattet werden, so dass kundenspezifische Konfigurationen für spezifische Anwendungsanforderungen möglich sind. LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x wurde mit fortschrittlichen Prozesskontrollfunktionen entwickelt. Die Maschine kann bis zu vier Prozessparameter entweder mittels Nachbearbeitungsanalyse oder In-situ-Messtechnik steuern. Darüber hinaus verfügt das Kiyo3x über ein fortschrittliches Prozesssteuerungstool, das eine Echtzeit-Prozesssteuerung und ein Feedback zu überwachten Ergebnissen bietet. Die Kiyo3x kann mit einer Vielzahl von konventionellen und einheitlichen chemischen und mechanischen Stufen und Prozessrezepten konfiguriert werden. Die mechanischen Stufen bieten eine breite Palette von Bewegung und Rotation, um eine Vielzahl von Bearbeitungsanforderungen zu erfüllen. 2300 Kiyo3x enthält auch eine Reihe patentierter Düsen- und Substratadapterdesigns für die präzise Feature Control, die eine Reihe von Profilformen und eine Auflösung für anspruchsvolle Ätzschichten bietet. LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x bietet eine große Leistung und eine breite Palette von Fähigkeiten für Metall- und dielektrische Ätzschichtprozesse, so dass es präzise, optimierte Ergebnisse für eine Vielzahl von Chip-Entwicklungsanwendungen liefern kann. Der Vermögenswert bietet eine hervorragende Steuerung und Planarisierung des Eigenschaftsprofils für optimale Produktionserträge und gesenkte Gesamtbetriebskosten. Darüber hinaus sorgen präzise Echtzeit-Prozesssteuerung und -überwachung für optimale Geräteausbeute und Prozesswiederholbarkeit.
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