Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x #9249855 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleitern. Es bietet fortschrittliche Technologie und Funktionen zur Verbesserung von Produktivität, Ertrag und Qualität. Es ist eine vielseitige Maschine, die zum Ätzen und Aschen von Scheiben, Lünetten und anderen Halbleiterbauelementen verwendet werden kann. 2300 Kiyo3x verfügt über eine integrierte Prozessüberwachung und -steuerung (IPM/C), die die Wiederholbarkeit und Durchsatzoptimierung der Produkte gewährleistet. Diese Maschine bietet auch eine präzise Temperaturregelung, Leistungsüberwachung und HF-Energiekupplung, um sicherzustellen, dass der Prozess für jeden spezifischen Wafer optimiert ist. LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x ist mit einem fortschrittlichen in-situ Cluster Removal Detection (CRD) System ausgestattet, das ein kapazitives Sensor-Array verwendet, um Wafer-Cluster in Echtzeit zu erkennen und zu überwachen. 2300 Kiyo3x beinhaltet eine Hochleistungs-Binärgasanlage mit integrierter Massengasliefermaschine, die eine genaue Gaskontrolle und Mischgaslieferung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt diese Maschine über ein Hochgeschwindigkeits-Gasschaltgerät mit minimaler Gasströmungsunterbrechung, das hohe Durchsätze und eine geringe Kreuzkontamination ermöglicht. Die Anlage ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie einem Lastschloss mit geringer Leistung ausgestattet, um unbeabsichtigte Prozessdruckspitzen, Hochstromplasmaschutz und mehrere akustische und optische Lecksucher zu verhindern. LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x gliedert sich in drei Basismodule: den Reactive-Ion-Etcher (RIE), den Acid-Etch (AE) und den Asher. Das RIE-Modell ist ein fortschrittliches Vakuum-Plasma-basiertes Verfahren, mit dem Resiststoffe, Folien und Polymere entfernt werden. Die AE-Ausrüstung wird verwendet, um ein Muster von einer Maske auf den Wafer zu übertragen. Der Ascher ist ein Nachbearbeitungsätzer zur Reinigung von Rückständen, die nach dem Ätzvorgang verbleiben. 2300 Kiyo3x bietet ein umfassendes Tool-Management-Paket, das die Planung und Verwaltung der für jede spezifische Anwendung benötigten Tools unterstützt. Dieses System reduziert Rüstzeiten und Produktionsausfälle, indem es das Datenmanagement und die gemeinsame Nutzung verbessert. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x Prozessunterstützung durch Überwachung von Prozessdaten und detaillierte Analyse der Kammerleistung. Dies trägt dazu bei, eine gleichbleibend hohe Ausbeute zu gewährleisten. Zusammenfassend ist 2300 Kiyo3x eine fortschrittliche Ätz-/Aschereinheit, die die neuesten Technologien und Funktionen bietet. Es bietet ausgezeichnete Prozesssteuerung und -überwachung, hohe Durchsätze, geringe Verschmutzung und insgesamt verbesserte Produktivität. All diese Eigenschaften machen LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x eine ausgezeichnete Wahl für jede Halbleiteranwendung.