Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Metal #9314599 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Metal ist ein Ätzer/Ascher, der zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Metallen und anderen Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Dies wird mit Hilfe einer Mehrkammerausführung mit drei Plasmakammern, zwei Ätzkammern und einer Asche erreicht. Es ist eine sehr zuverlässige Prozesslösung für konsistentes Metallätzen und -veraschen mit wiederholbaren Ergebnissen. Die Ätzkammer ist in der Lage, verschiedene Metalle mit einer Vielzahl von Ätzgaspräferenzen wie Stickstoff, Wasserstoff, Sauerstoff-basierte und Chlor-basierte Gase zu ätzen. Es enthält auch zahlreiche Prozessrezepte, die mit Hilfe einer benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche einfach ausgeführt werden können. LAM RESEARCH verfügt zudem über eine integrierte Mehrkammerkonfiguration, um ein effizientes und gleichmäßiges Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Der Ascher ist in der Lage, eine Vielzahl von metallisierten Substraten wie Gold, Kupfer, Aluminium und Titan zu aschen. Darüber hinaus kann es auch ein breites Sortiment an nichtmetallisierten Substraten wie Passivierungsschichten, Dielektrika und Polysilizium aschen. Der Ascher weist eine Aschetiefe von 1 bis 5 µm mit einer Prozeßwiederholbarkeit von besser als 1% auf. 2300 Metal ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie einer Abgassicherheitssonde und einem integrierten Kippsicherheitsmonitor ausgestattet. Die Abgassicherheitssonde ist zur Überwachung der in den Kammern erzeugten Drücke für einen längeren Betrieb ausgelegt. Mit dem integrierten Kippsicherheitsmonitor wird sichergestellt, dass die Kammer ordnungsgemäß ausgerichtet ist, um ein Ätzen oder Aschen für übermäßige Dauer zu verhindern, wodurch Schäden am Substrat vermieden werden. Darüber hinaus verfügt es über einen leistungsstarken, automatisierten Controller mit einer grafischen Benutzeroberfläche, die eine umfassende Kontrolle über die Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Die integrierte Benutzeroberfläche bietet Benutzern die Möglichkeit, das Werkzeug schnell zu programmieren, den Ätz- und Ascheprozess zu überwachen und die Kammerparametereinstellungen zu ändern/zu ändern/zu lesen. Die Steuerung ist auch für die einfache Integration mit anderen Ätzsystemen und Automatisierungssteuerungssystemen ausgelegt. Insgesamt ist LAM RESEARCH 2300 Metal eine ausgezeichnete Wahl für Metallätzen und -veraschen. Es bietet höchste Präzision, Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei minimalen Schäden am Substrat. Es ist auch mit zuverlässigem und effizientem Kundenservice für einfaches Setup und erweiterten Betrieb unterstützt.