Gebraucht LAM RESEARCH 2300 V2 #293595429 zu verkaufen
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ID: 293595429
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Plasma processing system, 12"
Etch platform
(4) Exelan Chambers
(4) Gas boxes
Remote power distribution box
3LP EFEM
Vacuum transfer module
Control rack
BROOKS AUTOMATION ATR8 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION MAG7 VTM Robot
(2) FOUPs
Cassette type: 25
No conditioning station
IPX / EPX Pump for TM
Side monitor user interface
Stainless wafer pads
No UPS
No ELB
R-O-G-B Signal tower
ESC Wafer clamping mechanism
ESC Power supply
ESC Hose kit
ESC Barbed facility plate
Wafer life mechanism: Direct drive
O-rings: Fluorosilicon / Viton
ATH 1600 M Turbo pump
Optical emission spectroscopy
Chemraz gate valve
2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 V2 Asher ist ein vollautomatischer, hochgenauer Ätzer/Ascher zum Trockenätzen bestimmter Materialien. Es ist ideal für Anwendungen wie Geräteherstellung, Halbleiterbauelementverarbeitung, MEMS-Produktion, Leiterplattenherstellung und andere Massenproduktionsprozesse. Es ist in der Lage, Ätztiefen von bis zu 300 µm zu erreichen, hat eine Ätzgenauigkeit von ± 0,05 µm und kann bei einer Vielzahl von Temperaturen bis zu 3000 ° F (1650 ° C) arbeiten. 2300 V2 Asher wird von einem ausgeklügelten Controller angetrieben, der eine rückgeführte Wafer-Kassettenantriebseinrichtung und eine geschlossene Prozesskammer mit einem Vakuumsystem für eine optimale Prozesssteuerung umfasst. Die Prozesskammer enthält zwei unabhängige Ätzsysteme, das erste zum Ätzen des Substrats und das zweite zum rückseitigen Ätzen. Es enthält auch einen Overhead-Roboter-Locator und Autofokus-Software. Die Waferkassettenantriebseinheit ermöglicht ein effizientes Be-/Entladen von Wafern für einen verbesserten Durchsatz. LAM RESEARCH 2300 V2 ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie einem Not-Aus-Knopf, einem Verriegelungsschutz, einer Rauchdetektions- und Filtrationsmaschine und einer Zwangsluftspülung ausgestattet, um zu verhindern, dass gefährliche Gase und Aerosole aus der Prozesskammer austreten. Diese Merkmale gewährleisten einen zuverlässigen und sicheren Betrieb des Ätzers. 2300 V2 bietet eine komplette Ätzlösung mit integrierter Prozesssteuerung und Software. Dazu gehören leistungsstarke Prozesswerkzeuge und Parametersteuerungen, die bei Bedarf programmiert, überwacht und angepasst werden können. So können Anwender ihren Prozess mit höchster Präzision und Rückverfolgbarkeit optimieren. Das Tool ist auch für eine Vielzahl von benutzerdefinierten Skripten über die Open-Source-Skriptsprache konzipiert, so dass Benutzer das Asset an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Abschließend ist LAM RESEARCH 2300 V2 ein fortschrittlicher automatisierter Ätzer/Ascher mit einer Vielzahl von Funktionen und Funktionen. Seine erweiterten Prozesskontroll- und Sicherheitsfunktionen sowie seine Open-Source-Skriptsprache sorgen für zuverlässige und genaue Operationen. Seine Temperaturfähigkeit, Ätzgenauigkeit und Durchsatz machen es zur idealen Wahl für die Massenproduktion und andere hochpräzise Fertigungsprozesse.
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