Gebraucht LAM RESEARCH 2300 V2 #293777560 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293777560
Plasma processing system
(3) Load ports
(4) Kiyo CX Chambers
(4) Kiyo MX Chambers
(3) Wafer Load port modules
Transfer chamber
Robots
ATM Robot with effectors
Effector with effectors
VTM Robot
N2 / Purge vent
TM control
Communication protocol (RS232, LON).
LAM RESEARCH 2300 V2 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der verwendet wird, um Material von einem Substrat zu entfernen, um elektrische Schaltkreise zu strukturieren oder empfindliche Materialien zu ätzen. Der Ätzer/Ascher ist in der Lage, mit einer Mischung von Chemikalien von relativ sicher bis hochkorrosiv zu arbeiten und kann eine Vielzahl von Wafergrößen im Bereich von 2-200 mm verarbeiten. Die Maschine bietet auch eine automatisierte Substratsteuerung und eine stabile Hochfrequenz-Modulleistung für wiederholbare Prozesse. Sein Design verfügt über eine robuste Duopolquelle, die genau ausgerichtet werden kann, um eine konsistente und gleichmäßige Flussdichte über ein Substrat zu liefern. Die erweiterten Verarbeitungsfunktionen von 2300 V2 werden durch den Hochleistungs-HF-Generator, die Mehrzonengasverteilung und das adaptive Prozesssystem ermöglicht. Die Maschine kann mit einer Vielzahl von Prozessgasen wie HF, O2F2, SF6 und Cl2 sowie Reaktandengasgemischen arbeiten und eignet sich somit für Ätz- und Ascheanwendungen in einer Vielzahl von Ätzraten und Wafergrößen. Die Mehrzonengasverteilung gewährleistet gleichmäßige, aber realistische anisotrope Ätzprofile, während die große Kammer für eine stabile Umgebung für Prozesszeit gegenüber Gesamtdickenvariation ausgelegt ist. LAM RESEARCH 2300 V2 ist mit einer einfach zu bedienenden Touchscreen-Schnittstelle ausgestattet, mit der Benutzer den Betrieb des Ätzers/Aschers schnell verwalten und überwachen können. Das große, helle Bedienfeld zeigt Betriebsparameter, einschließlich Reaktionsausmaß und Fließverbotszeiten, die eine schnelle Diagnose und Vermeidung potenzieller Musterfehler ermöglichen. Es kann auch fernüberwacht und angepasst werden, sodass Kunden die Prozesskonsistenz aufrechterhalten können. Das fortschrittliche Prozessschutzsystem gewährleistet einen optimalen Geräteschutz bei der Plasmaverbesserung, indem sichergestellt wird, dass die Bedingungen des Plasmas optimiert werden, um Schäden an nahegelegenen Gebieten zu minimieren. Insgesamt ist 2300 V2 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der Kunden leistungsstarke und zuverlässige Verarbeitungsfunktionen bietet und es ihnen ermöglicht, eine breite Palette von Ätz- und Ätz-/Ascheanwendungen zuverlässig zu bearbeiten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor