Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9282805 zu verkaufen

LAM RESEARCH Kiyo ist ein hochmoderner dielektrischer Ätzer/Ascher mit hohem Durchsatz, der von LAM RESEARCH entworfen und hergestellt wurde. Es unterstützt sowohl herkömmliche Naßätz- als auch Trockenwaschprozesse zur Waferreinigung und Zubereitung vor der Weiterverarbeitung. Kiyo ist ein ausgezeichnetes Werkzeug für hochgenaues dielektrisches Ätzen/Aschen aufgrund seines innovativen Designs, mit zweistufiger Prozessfähigkeit und drehbarem Spannfutter für verbesserte Gleichmäßigkeit. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von dielektrischen Materialien wie Nitrid- und Oxidfolien sowie High-K-Metall-Gate-Stacks zu ätzen. LAM RESEARCH Kiyo ist in einer einzigen Wafer- oder Pod-Handling-Konfiguration mit einer maximalen Kammergröße von 331 mm und einer maximalen Backplattentemperatur von 500 ° C erhältlich. Kiyo verfügt über einen leistungsstarken Embedded Workcell Controller, der eine schnelle Waferlast und präzise Prozesssteuerung ermöglicht. Die Arbeitszelle verfügt über ein proprietäres virtuelles Substratsteuerungssystem (VSC), das für stark wiederholbare Substrate sorgt. Die Steuerung bietet zudem Zugriff auf Echtzeit-Waferdaten wie Temperatur und Gasfluss zur verbesserten Prozesssteuerung. LAM RESEARCH Kiyo wurde für einfache und sichere Wartung und Service konzipiert. Die Kammer ist mit zwei Druckanschlüssen ausgestattet, was für einen schnelleren Prozesszyklus als Einportkammern sorgt. Die automatisierte Reinigungsfähigkeit ist auch über die integrierte Software LAM Clean Chamber verfügbar, die Wartungsausfälle minimiert. Darüber hinaus bietet Kiyo zahlreiche erweiterte Funktionen wie hochpräzise Temperaturregelung, Multi-Gas-Fähigkeit und geringe Partikelleistung. LAM RESEARCH Kiyo ist ein zuverlässiges Werkzeug zur präzisen Waferaufbereitung, das die Herstellung von gleichbleibend hochwertigen Dielektrika ermöglicht. Es bietet erstklassige Replikate mit reduzierter Ertragsvariation und maximaler Robustheit.