Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9363127 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 ist ein Hochleistungsätzer/Ascher, der sowohl für die Prozessentwicklung als auch für die IC-Fertigung verwendet wird. Dieser Ätzer/Ascher bietet erweiterte Prozessfähigkeiten, um die anspruchsvollen Anforderungen der Geräteproduktion zu erfüllen. Dies ist ein vielseitiges Werkzeug, das für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen eingesetzt werden kann. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Ätztechnologien wie Metallätzen, dielektrisches Ätzen, thermische Zersetzung, Kontaktätzen mit Halogenen, Kontaktätzen mit Gasen und Kontaktätzen mit gemischten Halogen- und Gasphasenreaktanden zu unterstützen. Es unterstützt auch Ascheprozesse wie Deep-Level-RIE und Plasmabehandlungen. Diese Vielseitigkeit ermöglicht es Anwendern, ihre spezifische Prozessentwicklung oder ihren Produktionsprozess mit der geringsten Anzahl an Systemumkonfigurationen zu unterstützen. Das Versys Kiyo 45 bietet Anwendern präzise Prozesswiederholbarkeit, „Movie-Mapping“ mit Prozessrezepten, die bis zu 50 Schritte lang und bis zu 256 × 256 Array sein können, und Echtzeit-OPC (Optical Critical Dimension) -Messungen, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozessqualität in-situ und on-demand zu überprüfen. Diese Inspektionskammer hat ein Sichtfeld von bis zu 40 × 30mm und kann zur Analyse der physikalischen Eigenschaften der Wafer oder Werkstücke verwendet werden. LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45 verwendet einen Pumpensatz, der von 0-45 l/min für eine überlegene Druckregelung angetrieben werden kann. Gleichzeitig ist der Versys Kiyo 45 ein vollautomatisches Werkzeug, das in Autopt und Auto-Clean Zyklen arbeiten kann und eine Vielzahl von Gasen und Chemikalien verwendet, um die Ätz- und Reinigungsprozesse zu unterstützen. Der Versys Kiyo 45 bietet Anwendern auch optionale Filtration, um die Möglichkeit der Einbringung von Partikeln in das Ätz-/Aschesystem zu reduzieren. Dieses System bietet auch Reinraumfunktionalität mit flüssigen oder gasförmigen Prozessen. Insgesamt ist 2300 Versys Kiyo 45 ein fortschrittlicher, hochfähiger Ätzer/Ascher. Es bietet Anwendern eine hervorragende Wiederholbarkeit, On-Demand-Prozessüberwachung mit integrierter Werkzeuginspektion sowie optionale Filtrations- und KVP-Prozesse. Der Versys Kiyo 45 ist eine ideale Wahl für Anwender, um ihre hochpräzisen IC-Fertigungsvorgänge zu unterstützen.