Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293758913 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly ist ein Ascher und Ätzer für Dünnschichtanwendungen. Es ist ein modernes Trockenätzgerät, das für Tiefenätzen von Metallen und Polysilizium entwickelt wurde. Das System verfügt über zwei verfügbare Verfahren (transparent oder selbstbegrenzend), die für verschiedene Ätztechniken eingesetzt werden können. Das Versys KIYO Poly verfügt über zwei unabhängige Plasmaquellen, die unabhängig voneinander für die Metall- und Polysiliziumätzung mit präziser Steuerung beider Prozessschritte eingesetzt werden können. Die Plasmaquellen ermöglichen eine hohe Genauigkeit der Ätzkontrolle und ohne Störungen durch die andere Plasmaquelle. Die Einheit bietet auch Prozessflexibilität, die für das hochintegrierte Ätzen einer Vielzahl von Metalllegierungen (Aluminium, Titan, Wolfram und andere) und Polysiliziummaterialien einschließlich Kupferfolien so dünn wie 0,3 Mikrometer verwendet werden kann. Der Versys KIYO Poly bietet hochpräzise Prozesssteuerung mit prädiktiver Ätzratenregelung, Temperaturabschaltung für einheitliche Prozessleistung und Advanced Process Control (APC). Es bietet auch eine Reihe von vielseitigen Prozessoptionen für Metall- und Polysiliziumätzen, einschließlich Parameter für Bor-Dotierung, Grabenätzen, vertikales Schrittätzen und Tiefenätzen. Die Maschine ist in der Lage, kritische Maßgenauigkeit von +/- 1,0 Mikron und Gleichmäßigkeit in Submikron-Feature-Auflösung zu erreichen. Es bietet ein einfach zu bedienendes Fernüberwachungs-Tool mit Echtzeit-Anpassungen durch die Asset-Kontrollen möglich. Das Modell ist mit einer Hochtemperatur-Hochvakuum (HTHV) -Kammer ausgestattet, die eine gleichmäßige Ätzrate für unterschiedliche Filmdicken bietet und für Prozessstabilität sorgt. Es verfügt auch über eine präzise Dual-RF-Source-Ausrüstung für die ultimative Kontrolle des Ätzprozesses und ein vollautomatisiertes Elektrodenemissionssystem. Der Versys KIYO Poly ist eine vielseitige Ätzeinheit, die in der Lage ist, einstufiges Ätzen mehrerer Geräte in einer einzigen Kammer zu erreichen und somit ideal für Prototyp- und Produktionsanwendungen geeignet ist.