Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293762655 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly ist eine Ätzausrüstung für Polysiliziumätzen und dielektrische Glasmaterialien. Dieser fortschrittliche Ätzer verfügt über eine voll automatisierte Plattform mit hohem Durchsatz, die in der Lage ist, hochauflösende Musterprofile mit präziser Wiederholgenauigkeit und Gleichmäßigkeit über den gesamten Bereich der Substratgröße herzustellen. Die hochauflösenden Strukturierungsmöglichkeiten des Versys KIYO Poly machen es ideal für Anwendungen wie Photomasken, Gatedielektrika und die Herstellung elektronischer Geräte. Das Versys KIYO Poly-System verwendet ein Plasma-basiertes Ätzverfahren, das hochgenaue vertikale Wandmerkmale, gerade Geometrie und scharfe Kanten mit minimaler Unterschneidung erzeugt. Es verfügt über eine breite, benutzerfreundliche Prozessreihe mit Flexibilität für verschiedene Mustergrößen, Linienbreiten und Seitenverhältnisse. Es ist sehr konfigurierbar mit Optionen für Überdruck, Prozessautomatisierung und Durchsatzsteuerung. Der Ätzer bietet zudem eine fortschrittliche integrierte Prozessüberwachung, um eine optimale Ätzqualität zu gewährleisten. Dazu gehören automatisch sequenzierte Rezepte mit automatisierter Prozessparameteranpassung auf Basis von Echtzeit-Ätzprozessergebnissen. Es bietet auch erweiterte Temperaturkontrolle, Tiefenmessung und Endpunkt-Erkennungsfunktionen, die ein genaues Ätzen von Polysiliziumfilmen ermöglichen. Der Versys KIYO Poly ist für hohe Zuverlässigkeit und geringen Wartungsaufwand ausgelegt. Es verwendet kryogene Gaszufuhrsysteme und umfasst selbstprogrammierende Reaktoren, die den Bedarf an häufigem Rücksetzen reduzieren. Das Gerät ist auch mit einer integrierten Subumgebungs-Trockenpumpe ausgestattet, die einen leisen, staubarmen Betrieb bietet. Die Versys KIYO Poly Maschine wurde entwickelt, um eine hervorragende Ätzleistung zu bieten und eignet sich besonders für hochgenaues, hochauflösendes Polysiliziumätzen. Mit seinem vollautomatischen, benutzerfreundlichen Design ist dieses Tool ideal für Anwendungen, die hohe Präzision, schnellen Durchsatz und geringe Wartung erfordern.