Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #9372749 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly
ID: 9372749
Etchers.
LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly ist eine Hochleistungs-Ätzausrüstung zur präzisen Waferätzung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das System bietet einen hervorragenden Waferdurchsatz mit optimierter Ätzzeit und -genauigkeit sowie eine hohe Qualität der Ätzfunktionen. Das Gerät profitiert von einer voll integrierten Prozesssteuerung, einer hochzuverlässigen rezirkulierenden Passivierung und intelligenten Features wie selektiver Waferätzung. 2300 Versys KIYO Poly verfügt über eine innovative Waferhalter-Transporteinheit, die sicherstellt, dass die Wafer während des Ätzvorgangs fest eingespannt werden. Das Gerät verfügt außerdem über eine automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine zum effizienten Be-/Entladen von Wafern, die die Prozesszeit und -genauigkeit weiter verbessert. LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly verfügt über die neueste Technologie der Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD). Die PECVD-Technologie verfügt über ein elektrostatisches Spannfutter, das ein präzises Ätzen des abgeschiedenen Materials gewährleistet und hilft, höhere Seitenverhältnisse und kleinere Merkmale zu erreichen. Das Ätzergebnis wird durch einen einzigartigen Plasmareinigungsprozess nach dem Ätzen verstärkt, wodurch eventuell verbleibende Restpartikel während des Ätzprozesses eliminiert werden. 2300 Versys KIYO Poly verfügt zudem über eine Echtzeit-Kammertemperaturregelung, die die optimalen Verarbeitungsparameter beibehält und die Konsistenz der Ergebnisse gewährleistet. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine fortschrittliche digitale Steuerung mit intuitiven Asset-Schnittstellen für einfache Bedienung und Anpassungsfähigkeit. LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly hat auch eine robuste Konstruktion, um anspruchsvollen Umgebungen und Prozessen standzuhalten. Die Edelstahl- und Titankonstruktion sorgt dafür, dass das Modell korrosionsbeständig und frei von Partikelverunreinigungen ist. Darüber hinaus verfügt der KIYO Poly über umweltfreundliche Funktionen wie Lecksuche und regelmäßige chemische Inspektion. Mit seiner überlegenen Konstruktion und Technologie ist der 2300 Versys KIYO eine ausgezeichnete Wahl für fortgeschrittene Ätz- und Ascheanwendungen.
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