Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9137280 zu verkaufen
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ID: 9137280
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etcher, 12"
Mainframe: V2
(2) Kiyo
(2) Strip 45
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo ist ein Hightech-Ätzer/Ascher, der sich ideal für Anwendungen von fortschrittlicher Verpackung und MEMS-Geräteherstellung bis hin zur SOI-Substratpräparation eignet. Dieses leistungsstarke Werkzeug ist in der Lage, in nassen, trockenen und Plasmaprozessen zu ätzen, was es zu einer vielseitigen Option für verschiedene Geräte macht. Es verfügt über einen dreidimensionalen Elektromagneten zur präzisen Steuerung von Ätzprofilen, der es ideal für kritische Ätzprozesse macht. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer kryogenfreien und vertikalen Kühlanlage ausgestattet, die einen schnellen, tiefen Ätzprozess ermöglicht. Das System ist außerdem mit einer hocheffizienten Filtereinheit ausgestattet, die eine saubere, schadstofffreie Ätzumgebung ermöglicht. Das Werkzeug ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien und Substraten zu ätzen, einschließlich Galliumarsenid, Silizium, Edelmetalle und mehr. Es ist in der Lage, Materialien mit einer außergewöhnlichen Präzision von 20 bis 1.000 Fräsbögen für eine Reihe von Tiefen zu ätzen. Darüber hinaus ist es auch mit einer zweistufigen Gasfördermaschine ausgestattet, die eine Vielzahl von Ätzchemien und reaktiven Gasen ermöglicht. Das Werkzeug verfügt außerdem über einen hochpräzisen Schrittmotor und einen digitalen Mustergenerator, die leicht programmierbar sind und die Erstellung aller vom Benutzer benötigten Ätzmuster ermöglichen. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, 1D-Linie, 2D-Kreis, 3D-Mehrwinkel und 4D komplexe Formen zu ätzen. Zusätzlich ist ein Laser-Alignment-Asset im Tool enthalten, was eine weitere extreme Genauigkeit ermöglicht. Darüber hinaus ist 2300 Versys Kiyo mit einer Ladeschloßkammer ausgestattet, die eine Reihe fortschrittlicher Probenhandhabungsfunktionen ermöglicht. Dieses Modell ist mit einer hocheffizienten Massenätzkonfiguration konzipiert, die einen schnelleren, effizienteren Prozess ermöglicht. Schließlich verfügt das Tool auch über eine umfassende Überwachungsausrüstung und ist konform mit mehreren Standard-Beschichtungsprotokollen, so dass es perfekt für verschiedene Ätzanwendungen.
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