Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9226894 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo ist ein Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein völlig beiliegendes Hochdruck-, Hoch-Temperatur-, Hochvakuum etcher hat vorgehabt, großflächige Substrate in der 300-Mm-Größenreihe zu bearbeiten. Die Ausrüstung hat eine große Kapazität und ein patentiertes atmosphärisches Loadlock-Design, das eine einfache und effiziente Substratübertragung ermöglicht. Das System kann eine Reihe von Materialien verarbeiten, darunter Si, SiGe, SOI, Al, Ti, Cu und mehr. Das Gerät ist eine hocheffiziente, zweiwellige Ionen-Maschinen-Ätzplattform, die sowohl Standard- als auch hohe Seitenverhältnisse durchführen kann. Es ist mit einer Hochleistungsätzquelle, einer Hochdruckgaseinspritzung, einem Abgasbehandlungswerkzeug und einem In-situ-Diagnosegerät ausgestattet. Die Ätzkammer und Prozessmodule sind aus robustem Edelstahl gefertigt und verfügen über eine präzise Temperaturregelung über den gesamten Ätzprozess. Es ist in der Lage, Hochtemperatur- und Hochplasma-Bedingungen für tiefe anisotrope Ätzprozesse mit minimaler Kammerkontamination zu erreichen. Das Modell ist auch mit LAM RESEARCH patentierten Kiyo™ Sidestream Processing ausgestattet, die eine verbesserte Ätzgleichmäßigkeit und verbesserte Prozessstabilität ermöglicht. Diese Maßnahme ermöglicht eine unabhängige Steuerung des Plasmas auf jeder Seite der Ätzkammer, wodurch das Ätzprofil auf die Anforderungen des Prozesses optimiert werden kann. Das Gerät verfügt zudem über ein Prozessüberwachungssystem, das eine Echtzeit-Überwachung kritischer Parameter wie Wafergeometrie, Temperatur und Plasmagleichförmigkeit ermöglicht. Das Gerät ist vollständig integriert und automatisiert mit einer Windows-basierten grafischen Benutzeroberfläche (GUI) und einer On-Screen-Prozesssteuerung. Die Schnittstelle ermöglicht den einfachen Aufbau komplexer Prozesse und bietet eine umfassende Reportmaschine, die einen Prozesskatalog und Echtzeit-Prozessdaten umfasst. Das Werkzeug bietet auch in der Kammer optische Messungen, um Daten über Film und Oxiddicke sowie Profilform zu sammeln. 2300 Versys Kiyo ist ein zuverlässiger und vielseitiger Ätzer/Ascher, der den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. Es ist für Hochdurchsatz, Hochgleichmäßigkeitsätzen sowie chemisch-mechanisches Polieren (CMP) ausgelegt. Mit seiner präzisen Temperaturregelung und fortschrittlichen Prozessüberwachungsfunktionen ist das Asset in der Lage, die Leistung zu optimieren und gleichzeitig hohe Erträge zu erhalten.