Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9240730 zu verkaufen
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ID: 9240730
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Polysilicon etcher, 12"
Includes:
2300 Frame
(2) Exelan flex chambers
(2) Kiyo FX chambers
LAM RESEARCH Kiyo MCX Chamber
(3) LAM RESEARCH Kiyo chambers
2005 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der sich für eine Vielzahl von Anwendungen eignet. Es kombiniert Hochleistungs-Gas-Lieferung und -Steuerung, robustes mechanisches Design und intuitive Benutzeroberflächentools, um eine leistungsstarke Lösung für Ätz- und Ascheprozesse zu bieten. Als Ätzer bietet 2300 Versys Kiyo Präzisionsätzfunktionen mit bis zu 50 verschiedenen Ätzrezepten. Die Maschine ermöglicht auch bis zu 300 Waferpositionen, die entweder 8 Zoll oder 12 Zoll Wafer halten können. Jedes Ätzrezept wird mit optimierten Parametern wie Substratform, Schattierung und Ätztiefe programmiert. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo ist ein effizientes Prozesswerkzeug für Ätzanwendungen. Die Prozesskammer hat eine maximale Kapazität von 6 Litern und kann bis zu 6 Wafer gleichzeitig verarbeiten. Das Tool enthält auch eine Wafer-Direktansicht Ausrichtung Ausrüstung mit Auto-Fokus-Funktionen für Bild-Overlay während der Retikel für reduzierte Fertigungszeit. Zusätzlich enthält das Werkzeug ein Gasmischsystem, das die genaue Steuerung von Gasgemischen ermöglicht, die für fortgeschrittene Ätzprozesse erforderlich sind. Diese Gasmischeinheit verfügt über eine vollautomatische Gasquellenauswahl und -steuerung, so dass Benutzer den Prozess schnell programmieren und optimieren können. 2300 Versys Kiyo bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Das Werkzeug ist mit einer zweistufigen Vakuummaschine sowohl mit einer Turbo-Molekularpumpe als auch mit einer Ionen-Getter-Sekundärpumpe ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, daß die Kammer im Betrieb auf einem sicheren Vakuumniveau bleibt. Die Maschine verfügt auch über ein Sauerstoff-Alarm-Tool, das den Bediener alarmiert, wenn es eine unsichere Ansammlung von Sauerstoff in der Kammer. Insgesamt ist LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo ein zuverlässiger und leistungsstarker Ätzer/Ascher, der präzise Ergebnisse für eine Vielzahl von Ätzanwendungen liefert. Seine benutzerfreundliche Schnittstelle, fortschrittliche Gaskontrolle und Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Lösung für Ätz- und Ascheprozesse auf Produktionsebene. 2300 Versys Kiyo ist mit seiner robusten mechanischen Konstruktion und der präzisen Gaslieferung eine zuverlässige und effiziente Lösung für das Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Substraten.
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