Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9266036 zu verkaufen
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ID: 9266036
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Polysilicon etchers, 12"
(3) FOUP
WIDS BTM Read
Earth leakage breaker
Cable: TM Subpanel, 100 ft
System UPS circuitry
Side and front monitor
IGS GB: (16) Lines with frame
DSO Gas box with frame
Includes:
2300 Frame
(2) Exelan flex chambers
(2) Kiyo FX chambers
2005 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Hochdurchsatz- und Hochleistungsverarbeitung von Niedertemperaturmaterialien in der Halbleiterproduktion. Es ist mit einer Doppelkammerausführung ausgestattet, die zwei separate Substrate innerhalb einer einzigen Kammer aufnehmen kann. Die Kammer kann Temperaturen bis zu 500C erreichen und kann mit Hilfe leistungsfähiger Kontrollen fein eingestellt werden, um eine ordnungsgemäße Materialbearbeitung zu gewährleisten. 2300 Versys Kiyo bietet eine präzise Gasverteilung und -kontrolle, die für eine fortschrittliche Prozesskontrolle und wiederholbare Ergebnisse unerlässlich ist. Es ist mit Lam proprietären in-situ Photoresist Stripping Mechanismus mit einzigartigen kathodischen Lichtbogen Lieferung, die überlegene Ergebnisse ohne messbare Schäden an dem darunter liegenden Substrat bietet integriert. Darüber hinaus verfügt der Kiyo über eine Hochleistungs-Gasförderanlage zum Ätzen und Aschen von bis zu 8 Wafern gleichzeitig für einen größeren Durchsatz. Darüber hinaus ermöglicht sein ausgeklügeltes Vakuumkrümmer-Design präzise und wiederholbare Ätzergebnisse. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo wurde mit umfassenden Prozessüberwachungsfunktionen entwickelt, um wiederholbare präzise Ergebnisse zu gewährleisten. Es ist mit einem intuitiven Softwarepaket integriert, das eine effiziente Feinabstimmung der Parameter über seine grafische Benutzeroberfläche ermöglicht. Darüber hinaus bietet die hochmoderne digitale Regelungstechnik optimale Wafer-Gleichmäßigkeit für die Post-Process-Analyse. 2300 Versys Kiyo verfügt auch über eine patentierte Vordiffusionsstufe, die eine genaue Diffusion von Materialien in vertikaler Richtung vor dem Ätzen ermöglicht. Es ist auch das einzige System, das eine einheitliche Gaseinspritzeinheit mit patentierter Gehäusetechnologie bereitstellt, die eine genaue gleichmäßige Abscheidung gewährleistet, ohne andere Strukturen unerwünschten Materialien auszusetzen. Schließlich vereinfacht seine vordere Zugangswartungstür die Bedienung und erleichtert schnelle und einfache Reparaturen der Maschine. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo ist ein fortschrittlicher, leistungsstarker Ätzer/Ascher zur Herstellung von Niedertemperaturmaterialien für Halbleiteranwendungen. Das Doppelkammerdesign, die präzise Gaszufuhr, die hochgenaue Prozesssteuerung und der In-situ-Abisoliermechanismus sorgen für konsistente, wiederholbare Ergebnisse bei optimaler Wafer-Gleichmäßigkeit. Diese Funktionen, kombiniert mit der intuitiven Benutzeroberfläche und der schnellen Wartung, machen 2300 Versys Kiyo zu einer idealen Wahl für Anwendungen mit hohem Durchsatz.
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