Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9353167 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo ist einer der fortschrittlichsten Radierer und Ascher, die es heute gibt. Dieses Tool wurde entwickelt, um Präzisionsätzen und -veraschen in einer Vielzahl von Anwendungen in Halbleiter-, MEMS- und LED-Produktionsumgebungen bereitzustellen. Diese Ausrüstung ist in der Lage, flache und konturierte Wafer mit unübertroffener Präzision, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit zu verarbeiten. Dieses System ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser zu verarbeiten und bietet zahlreiche verschiedene Prozessparameter, die auf der Grundlage der Anforderungen des Bedieners einstellbar sind. Der Kiyo ist sowohl mit einer Low-Flow-Version als auch mit einer High-Flow-Version für mehr Flexibilität erhältlich. Die Low-Flow-Version hat einen Durchfluss von 2 - 5 Liter pro Minute, während die High-Flow-Version einen Durchfluss von 7 - 10 Liter pro Minute hat. Die Prozesskammer des Versys Kiyo ist mit Sicherheitsmerkmalen ausgestattet und bietet eine hervorragende Plasmagleichförmigkeit, die engere Ätztoleranzen und eine bessere Kantengenauigkeit ermöglicht. Mit einem maximalen Druck von 200 Millibar (Mbar) und einem Temperaturbereich von 15 - 40 C bewältigt der Versys Kiyo eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen und bietet Optionen sowohl für die manuelle Prozesssteuerung als auch für integrierte Prozesssteuerungsfunktionen. Das Gerät ist außerdem mit zahlreichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter eine automatische Gasabschaltung, eine Notentlüftungsmaschine und eine Nothaltetaste an der Vorderseite der Maschine. Diese Merkmale gewährleisten die Bedienersicherheit bei Ätz- und Ascheprozessen. Darüber hinaus verfügt der Versys Kiyo über einen LCD-Touchscreen (Liquid Crystal Display), der einen einfachen Zugriff auf Einstellungen ermöglicht, den aktuellen Prozesszyklus überwachen sowie Daten zur Prozessverbesserung abrufen und analysieren kann. Dieses Tool ist auch mit einer „Soft Vac“ -Fähigkeit ausgestattet, die präzisere, effizientere und sicherere Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Insgesamt ist 2300 Versys Kiyo ein ideales Werkzeug für Präzisionsätzen und -veraschen in den anspruchsvollsten Produktionsumgebungen für Halbleiter, MEMS und LED. Die Kombination aus fortschrittlicher Plasmagleichförmigkeit, zahlreichen Sicherheitsmerkmalen und zuverlässiger Prozesskontrolle macht diese Lösung zu einer überlegenen Ätz- und Veraschungslösung.
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