Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9359216 zu verkaufen

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ID: 9359216
Wafergröße: 12"
Etcher, 12" (3) Process chambers V2 Platform Transfer chamber: BROOKS AUTOMATION Transfer robot Transfer robot ARM (6) Rocker valves TM Pressure gauge MKS 640 TM Pressure control Loadlock pressure gauge (Hasting gauge) VAT Slit door TM Super slot board Airlock cover DA Sensor Etch chambers PM2/PM3: 2300 Kiyo, 2005 vintage Pressure gauges: E28B-30584 (2) 625A-14059 65048-JH52 Pendulum valve ATH2300M Turbo pump Apex 1513 TCP RF Generator, P/N: 660-032596-013 Apex 1513 Bias RF Generator, P/N: 660-032596-014 RF Matches: TCP, P/N: 832-034908-009 Bias, P/N: 832-038915-001 ESC, P/N: 839-019090-328 Missing process kits: Top edge ring Bottom edge ring Wall liner 649A-14943 Back He UPS ESC Power supply VME Assembly Foreline assembly OES Luxtron Etch chamber PM4: 2300 Kiyo Chamber Pressure gauges: E28B-30584 (2) 625A-14059 65048-JH52 Pendulum valve ATH 2300M Turbo pump Apex 1513 TCP RF Generator, P/N: 660-032596-013 Apex 1513 Bias RF Generator, P/N: 660-032596-014 RF Matches: TCP, P/N: 832-034908-009 Bias, P/N: 832-038915-001 ESC, P/N: 839-019090-328 Missing process kits: Top edge ring Bottom edge ring Quartz injector Wall liner 649A-14943 Back He UPS ESC Power supply VME Assembly Foreline assembly OES Luxtron (3) Gas panels: PM2: IGS Gas panel 12-Stick gas channels SEC-Z300 Mass Flow Controllers (MFC) PM3/PM4: IGS Gas panel 16-Stick gas channels SEC-Z300 Mass Flow Controllers (MFC) Gases for PM2/PM3/PM4: Gases / Size CL2 / 200 SCCM HBR / 50 SCCM CF4 / 200 SCCM O2 / 20 SCCM O2 / 200 SCCM HE / 500 SCCM SF6 / 200 SCCM CH4 / 50 SCCM HBR / 500 SCCM CHF3 / 200 SCCM N2 / 100 SCCM AR / 500 SCCM Delivery and pre-charge gas line GIB Line and FIB cover Gas box cover.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo etcher/asher ist das neueste in einer Reihe führender Kantenätz-/Aschewerkzeuge von LAM RESEARCH, einem führenden Anbieter von Halbleiterprozessanlagen. Es ist so konzipiert, dass es eine hocheffiziente, hochdurchsatzreiche Ausrüstung ist, die in der Lage ist, enge dimensionale Steuerung und hochfeste Oberflächen zu reproduzieren. Es ist ideal für eine Vielzahl von Prozessen einschließlich fortgeschrittener und mehrschichtiger Ätz-/Ascheanwendungen. Der Versys Kiyo verwendet fortschrittliche HF-Technologie, um höchste Präzision Ätz-/Ascheprozesse zu bieten. Seine hochmoderne Prozesssteuerung und -diagnostik bietet überlegene Leistung und Zuverlässigkeit, die überlegene Geräteerträge liefert und höhere Prozessdurchsätze ermöglicht. Die fortschrittliche Temperaturregelungstechnologie des Werkzeugs sorgt auch für hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit. Die Oblatenberührenfähigkeiten der Maschine bieten auch einen Schlüsselvorteil in seinem Design, weil der Versys Kiyo mit einem effizienten, konfigurierbaren Oblatenübertragungssystem und einem 20 Stationstraubenwerkzeugkassettenlader ausgestattet wird. Dies gewährleistet ein schnelles, zuverlässiges Be- und Entladen von Wafern, ein wichtiges Merkmal für jedes Ätz-/Aschewerkzeug. Das Gerät bietet auch Flexibilität mit seinen programmierbaren Leistungs- und Frequenzfähigkeiten, so dass Prozesse für eine Reihe von Gerätetypen angepasst werden können, einschließlich feiner Linien, ultradünner Linien und anderer komplexer Geometrien. Darüber hinaus stehen zur weiteren Erweiterung der Ätz-/Ascheprozessflexibilität eine ganze Reihe modernster HF-Leistungsfunktionen zur Verfügung, wie gepulste Leistung, lineare Leistungsrampen und programmierbare Wellenformformen. Um höchste Maschinengenauigkeit und Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten, umfasst der Versys Kiyo Ätzer/Ascher ein integriertes Messpaket und fortschrittliche Oberflächenbildtechniken. Diese Funktionen wurden entwickelt, um die Prozesskontrolle und Reproduzierbarkeit zu maximieren und die höchstmögliche Bildgenauigkeit und Auflösung für Wafer zu gewährleisten. Schließlich ist der Versys Kiyo Ätzer/Ascher auf niedrige Betriebskosten ausgelegt, was sowohl für Gerätehersteller als auch für Endanwender eine maximale Kosteneinsparung ermöglicht. Die anspruchsvolle benutzerfreundliche Bedienung ermöglicht es den Betreibern, die Fähigkeiten von Versys Kiyo schnell zu verstehen und zu nutzen, um die Kosten für Ressourcen zu senken, die in die Einrichtungs- und Bedienerschulung investiert werden. Insgesamt bietet der 2300 Versys Kiyo Etcher/Ascher eine hervorragende Kombination aus fortschrittlicher Ätzleistung, hohem Waferdurchsatz, Konfigurierbarkeit und niedrigen Betriebskosten. Dies macht es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von komplexen Ätz-/Ascheprozessen.
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