Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9359216 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9359216
Wafergröße: 12"
Etcher, 12"
(3) Process chambers
V2 Platform
Transfer chamber:
BROOKS AUTOMATION Transfer robot
Transfer robot ARM
(6) Rocker valves
TM Pressure gauge
MKS 640 TM Pressure control
Loadlock pressure gauge (Hasting gauge)
VAT Slit door
TM Super slot board
Airlock cover
DA Sensor
Etch chambers PM2/PM3:
2300 Kiyo, 2005 vintage
Pressure gauges:
E28B-30584
(2) 625A-14059
65048-JH52 Pendulum valve
ATH2300M Turbo pump
Apex 1513 TCP RF Generator, P/N: 660-032596-013
Apex 1513 Bias RF Generator, P/N: 660-032596-014
RF Matches:
TCP, P/N: 832-034908-009
Bias, P/N: 832-038915-001
ESC, P/N: 839-019090-328
Missing process kits:
Top edge ring
Bottom edge ring
Wall liner
649A-14943 Back He UPS
ESC Power supply
VME Assembly
Foreline assembly
OES
Luxtron
Etch chamber PM4:
2300 Kiyo Chamber
Pressure gauges:
E28B-30584
(2) 625A-14059
65048-JH52 Pendulum valve
ATH 2300M Turbo pump
Apex 1513 TCP RF Generator, P/N: 660-032596-013
Apex 1513 Bias RF Generator, P/N: 660-032596-014
RF Matches:
TCP, P/N: 832-034908-009
Bias, P/N: 832-038915-001
ESC, P/N: 839-019090-328
Missing process kits:
Top edge ring
Bottom edge ring
Quartz injector
Wall liner
649A-14943 Back He UPS
ESC Power supply
VME Assembly
Foreline assembly
OES
Luxtron
(3) Gas panels:
PM2:
IGS Gas panel
12-Stick gas channels
SEC-Z300 Mass Flow Controllers (MFC)
PM3/PM4:
IGS Gas panel
16-Stick gas channels
SEC-Z300 Mass Flow Controllers (MFC)
Gases for PM2/PM3/PM4:
Gases / Size
CL2 / 200 SCCM
HBR / 50 SCCM
CF4 / 200 SCCM
O2 / 20 SCCM
O2 / 200 SCCM
HE / 500 SCCM
SF6 / 200 SCCM
CH4 / 50 SCCM
HBR / 500 SCCM
CHF3 / 200 SCCM
N2 / 100 SCCM
AR / 500 SCCM
Delivery and pre-charge gas line
GIB Line and FIB cover
Gas box cover.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo etcher/asher ist das neueste in einer Reihe führender Kantenätz-/Aschewerkzeuge von LAM RESEARCH, einem führenden Anbieter von Halbleiterprozessanlagen. Es ist so konzipiert, dass es eine hocheffiziente, hochdurchsatzreiche Ausrüstung ist, die in der Lage ist, enge dimensionale Steuerung und hochfeste Oberflächen zu reproduzieren. Es ist ideal für eine Vielzahl von Prozessen einschließlich fortgeschrittener und mehrschichtiger Ätz-/Ascheanwendungen. Der Versys Kiyo verwendet fortschrittliche HF-Technologie, um höchste Präzision Ätz-/Ascheprozesse zu bieten. Seine hochmoderne Prozesssteuerung und -diagnostik bietet überlegene Leistung und Zuverlässigkeit, die überlegene Geräteerträge liefert und höhere Prozessdurchsätze ermöglicht. Die fortschrittliche Temperaturregelungstechnologie des Werkzeugs sorgt auch für hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit. Die Oblatenberührenfähigkeiten der Maschine bieten auch einen Schlüsselvorteil in seinem Design, weil der Versys Kiyo mit einem effizienten, konfigurierbaren Oblatenübertragungssystem und einem 20 Stationstraubenwerkzeugkassettenlader ausgestattet wird. Dies gewährleistet ein schnelles, zuverlässiges Be- und Entladen von Wafern, ein wichtiges Merkmal für jedes Ätz-/Aschewerkzeug. Das Gerät bietet auch Flexibilität mit seinen programmierbaren Leistungs- und Frequenzfähigkeiten, so dass Prozesse für eine Reihe von Gerätetypen angepasst werden können, einschließlich feiner Linien, ultradünner Linien und anderer komplexer Geometrien. Darüber hinaus stehen zur weiteren Erweiterung der Ätz-/Ascheprozessflexibilität eine ganze Reihe modernster HF-Leistungsfunktionen zur Verfügung, wie gepulste Leistung, lineare Leistungsrampen und programmierbare Wellenformformen. Um höchste Maschinengenauigkeit und Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten, umfasst der Versys Kiyo Ätzer/Ascher ein integriertes Messpaket und fortschrittliche Oberflächenbildtechniken. Diese Funktionen wurden entwickelt, um die Prozesskontrolle und Reproduzierbarkeit zu maximieren und die höchstmögliche Bildgenauigkeit und Auflösung für Wafer zu gewährleisten. Schließlich ist der Versys Kiyo Ätzer/Ascher auf niedrige Betriebskosten ausgelegt, was sowohl für Gerätehersteller als auch für Endanwender eine maximale Kosteneinsparung ermöglicht. Die anspruchsvolle benutzerfreundliche Bedienung ermöglicht es den Betreibern, die Fähigkeiten von Versys Kiyo schnell zu verstehen und zu nutzen, um die Kosten für Ressourcen zu senken, die in die Einrichtungs- und Bedienerschulung investiert werden. Insgesamt bietet der 2300 Versys Kiyo Etcher/Ascher eine hervorragende Kombination aus fortschrittlicher Ätzleistung, hohem Waferdurchsatz, Konfigurierbarkeit und niedrigen Betriebskosten. Dies macht es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von komplexen Ätz-/Ascheprozessen.
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