Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys #78825 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 78825
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Poly etch / microwave strip system, 12"
Install Type: Thru-the-wall (TTW)
CE Marked
Protocol: FEOL
System SW: 1.7.1-SP3-HF5
Mainframe Type: V2.0
Cassette Interface:
(3) Brooks 300mm FOUP Load-ports
Brooks Mag 7 Robot
User Interface: Side/Front
OES: Ocean Optics
Status Lamp (RYGB) Side/Front
PM3: 2300 Kiyo45 Poly Etch
TMP Pump: Edwards STP-XA2703CV
RF PS (Top): AE Apex 1513, 13.56MHz (1500W max)
RF PS (Btm): AE Apex 1513, 13.56MHz (1500W max)
Gas Box:
Unit 8561 MFCs
SICL4, CL2, SF6, CHF3, H2, NF3, HBR, HBR, CH2F2, CF4, O2, O2, N2, CHF3, Ar, He
PM4: 2300 Mwave Strip
Mwave PS: Astex AX2630LRC3-S
Mwave Match: MKS V0DMB-26565
Gas Box:
Unit 1661 MFCs
N2 (1000), O2 (5000), CF4 (100), H2O (3000)
Chiller (PM3): Noah 3500 POU, BTM: HT200, PSC-8800 Cntrl
Pumps: Not all Pumps may be present
Main AC Power Dist. Box (Wall/Unistrut mount)
Power Requirements: 208V, 272A, 3-PH, 3-wire+Gnd, 50/60Hz
Can be inspected
2005 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 ist eine hochentwickelte Etch-Assembler-Lösung, die den Anforderungen der fortschrittlichen Ätzmontage gerecht wird. Dieses Produkt ermöglicht höhere Leistung, Genauigkeit und Erträge bei gleichzeitiger Kostensenkung. Dieser Ätzer/Ascher verwendet branchenführende, gerichtete Plasmaätztechnologie (DPE), um eine ausgezeichnete Ätzgenauigkeit und Gleichmäßigkeit sowie eine Baugruppe mit Gerätefunktionen hoher Dichte zu gewährleisten. LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45 bietet 42 Prozesskammern mit jeweils DPE-Fähigkeiten, die die Integration von über 300 Prozessrezepten ermöglichen. Jede Kammer wird mit Abscheide-, Ätz- und Annealmodulen und 12 hochauflösenden Massenspektrometern versorgt. Jede Kammer hat ein 4 Zoll mal 5,2 Zoll (200 mm) mal 6,5 Zoll (500 mm) Fenster, bietet ausgezeichneten optischen Zugang und große Waferfläche. Die Kammer hat eine überlegene Optikqualität, die eine überlegene Überlagerungsgenauigkeit ermöglicht, und der niedrige Kammerhintergrunddruck, kombiniert mit dem hohen Zufuhrfluss, sorgt für eine verbesserte Ätzprozessqualität. 2300 Versys Kiyo 45 wurde entwickelt, um den Durchsatz zu optimieren und kann bis zu 450 Wafer pro Stunde verarbeiten. Es kann wiederholbare Ätzprofile für die Großserienherstellung bereitstellen und verfügt mit seiner DPE-Technologie über ein hohes Maß an Prozessrezeptflexibilität, was eine effizientere Prozessintegration ermöglicht. 2300 VERSYS KIYO45 ist für den Einsatz in Produktionsumgebungen konzipiert und kann sicher und sicher betrieben werden. Seine integrierte Prozesssteuerung, LED-liftable Substrukturen, automatische Wafer- und Kassettenzuführer und ausfallsichere Prozesse sorgen für maximalen Waferertrag und minimieren die Wartungszeit. Das System ist auch flexibel, um Änderungen der Produktionsanforderungen gerecht zu werden. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 ist ideal für die Herstellung und Verpackung von Chips und bietet überlegene Genauigkeit und Erträge sowie hohe Qualität und Wiederholbarkeit. Dieses fortschrittliche System bietet eine hervorragende Lösung, um komplexe Geräte zu ätzen und zu montieren und gleichzeitig die Gesamtkosten der Produktion zu reduzieren.
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