Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys #9033337 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die zur Erstellung integrierter Schaltungsgeräte verwendet wird. Es kombiniert Konvektions-, Thermo- und Plasmatechnologien, um Anwendern eine überlegene Leistung in Asher-Prozessen zu ermöglichen, was zu kürzeren Zykluszeiten, höherer Produktivität und einem verbesserten Prozessfenster führt. Dieses Tool wird derzeit in einigen der weltweit führenden Produktionsanlagen für integrierte Schaltungen (IC) eingesetzt. Das robuste Design des Versys umfasst ein einzigartiges Kammer- und Plattformkühlsystem, das eine überlegene Temperaturbilanz und eine überlegene Ätz-/Aschestabilität bietet. Es verfügt über eine Einantrieb-Transfereinheit, die eine schnelle und flexible Reaktion ermöglicht, sowie eine fortschrittliche automatische Ladevorrichtung, die einen zuverlässigen Prozess gewährleistet. Der Versys ist in der Lage, mehrere Substratgrößen zu verarbeiten und bietet eine Vielzahl von Ätz-/Aschelösungen, von DRIE, Plasma Enhanced CVD (PECVD), Sputter und Etch-Then-Clean (ETC) Prozesse. Darüber hinaus minimiert die Integrierte Thermische Verarbeitung (ITP) -Technologie Substratschäden und Ätzzykluszeiten, und die „berührungslose“ ITP ermöglicht die Temperaturerhaltung in der Bearbeitungskammer. Die Maschine enthält auch einen zweistufigen zyklonischen Wäscher, wodurch zusätzliche Subsysteme entfallen und eine optimale Prozesssteuerung gewährleistet ist. Darüber hinaus verfügt der Versys über ein- und zweistufige Boote, die es ermöglichen, sowohl kleine als auch große Substrate innerhalb derselben Substratgrößen unterzubringen. 2300 Versys ist eine ausgezeichnete Wahl für Anwender, die nach Hochleistungs-Ätz-/Aschelösungen suchen. Mit seiner fortschrittlichen Technologie, seinem robusten Design und einer Vielzahl von Prozessoptionen ist es für die Herstellung integrierter Schaltungen sehr empfehlenswert. Die fortschrittlichen Ätz- und Ascheprozessfähigkeiten, die überlegene Temperaturbilanz und die präzise Handhabung der Substratgröße machen es zu einem der effektivsten und zuverlässigsten Ätz-/Aschesysteme, die heute auf dem Markt erhältlich sind.