Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys #9036038 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9036038
Dry etcher
Parts list:
4 Chambers : 2 PM/2 Strip
Robot: L/L => Brooks, TR/CH => MAG7
Generator : Apex 1500/13 (2 ea), RFDS (2 ea)
RPS: AX-2630 LRC-Q (2 ea), F120160-3(MKS) (2 ea)
TMP: STP-A2203 (2 ea)
Gas box: Enhanced gas box (Digital 12 line) (4 ea).
LAM RESEARCH 2300 Versys ist ein innovativer Ätzer und Ascher, der erweiterte Verarbeitungsfunktionen für fortschrittliche Gerätetechnologien bietet. Die Versys-Plattform ist auf Skalierbarkeit ausgelegt, so dass Hersteller ihre Produktionskapazität aktualisieren können, wenn Technologiefortschritte und neue Geräteknoten entwickelt werden. Der neue 2300 Versys ist mit einem fortschrittlichen Substratübertragungsroboter ausgestattet und in der Lage, verschiedenste Ätz- und Ascheprozesse durchzuführen. Es hat eine maximale Kapazität von fünf 300 mm Wafern, mit einer Prozesszeit von bis zu 300 Sekunden. Es verfügt auch über einen hochauflösenden lokalen Kreislauf-Scanner, der die ultimative Genauigkeit und Präzision für alle Ätz- und Ascheoperationen bietet. Der fortschrittliche LAM RESEARCH 2300 Versys ist in der Lage, Ätz-, Asche- und Kryoätzprozesse zu handhaben. Der Ätz- und Aschevorgang beinhaltet das Entfernen von Materialschichten, um ein entworfenes Muster auf dem Substrat zu erzeugen. Das Ätzen und Aschen wird im fab-Prozess verwendet, um Merkmale verschiedener Größen und Formen wie Metallleitungen, Transistoren und Kondensatoren zu mustern. 2300 Versys ist auch kryoätzfähig. Dabei wird extreme Kälte verwendet, um unerwünschtes Material wegzuätzen. Dieser Kaltätzprozess ist wesentlich für Technologien wie 110nm und darunter, wo extreme Präzision erforderlich ist. LAM RESEARCH 2300 Versys sorgt zudem durch seine fortschrittlichen Technologien für überlegene Verfügbarkeit und Produktivität, die Prozesszeiten verkürzen und die Prozessverteilung optimieren. Das Versys-System ist mit einer Vielzahl von Materialien kompatibel, von einfach zu bearbeitenden Dielektrika wie SiO2 und SiN bis hin zu härter zu bearbeitenden Materialien sowie Metallen. Damit ist sichergestellt, dass 2300 Versys für viele verschiedene Anwendungsszenarien bestens geeignet sind. Aus Sicht des Chip-Designers ermöglicht die Versys-Architektur eine enorme Flexibilität, die es ermöglicht, individuellere Muster mit maßgeschneiderten Rezepten herzustellen. Darüber hinaus bietet das System nachweislich hervorragende Ergebnisse und ist flexibel genug, um zukünftige Technologien zu handhaben. Alles in allem ist LAM RESEARCH 2300 Versys ein überlegener und fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der High-End-Prozesse, Skalierbarkeit und ultimative Genauigkeit und Präzision bietet. Es ist ein perfektes System für Unternehmen, die sich mit den neuesten Technologien befassen und maximale Produktivität und Qualität gewährleisten möchten.
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