Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys #9161243 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys
Radierer/Ascher
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
2300 Versys
ID: 9161243
Wafergröße: 12"
Metal etcher, 12" EFEM: Part no Load port (1): 002-7200-21 Load port (2): 002-7200-32 Atm robot: No Wafer alignment: 03121001 Power control rack: AC Rack: Model no: 2300 Vintage: 2003 Rear user interface monitor: Yes Robot controller: No P/C: Yes Vacuum TM: Airlock (Right): Yes Airlock (Left): Yes VTM Robot: No TM / PM Facility lines: Yes Slop valve load lock (Right): Yes Slop valve load lock (Left): Yes Vacuum TM: Part No Inner door Assy (Air lock Right): 853-007861-231 Inner door Assy (Air lock Left): 853-007861-003 Inner door Assy (PM2): 853-007859-002 Inner door Assy (PM3): 853-007859-212 Inner door Assy (PM4): 853-007859-212 Process module: PM2: 2300 Poly: Model no: Metal 2300 Vintage: 2003 TCP Match: Yes TCP Coil: Yes Bias match: Yes Process manometer: Model no: E28B-23747 Range: 0.1 Torr Process manometer valve assy: Yes AC/SSR Box: Yes Fore line manometer: Yes Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes Turbo pump: Yes (ATM2300M) VME Assembly: Yes VAT Pendulum valve: Yes Fore line Assy: Yes He cooling / Lift box: Yes Motor stepper board: Yes RF Cart: PM2 Turbo controller: Yes Generator (TCP): Yes (660-900984-008) Generator (BIAS): Yes (3155059-026) PM1: Gas box (GIB): Yes MFC 1_CL2: Yes MFC 2_HBR: Yes MFC 3_SF6: Yes MFC 4_AR: Yes MFC 5_N2: Yes MFC 6_CF4: Yes MFC 7_O2: Yes MFC 8_SF6: Yes MFC 9_HE: Yes MFC 10_O2: Yes MFC 11_NF3: Yes MFC 12_30%O2/HE: Yes Regulator (12/12): 12/12 RPDB Power box: Yes PM3: TCP Match: Yes TCP Coil: Yes Bias match: Yes Process manometer: Model no: E28B-23743 Range: 0.1 Torr Process manometer valve assy: Yes AC / SSR Box: Yes Fore line manometer: Yes Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes Turbo pump: Yes (ATM2300M) VME Assembly: Yes VAT Pendulum valve: Yes Fore line Assy: Yes He cooling / Lift box: Yes Motor stepper board: Yes RF Cart: PM2 Turbo controller: Yes Generator (TCP): Yes (660-900984-008) Generator (BIAS): Yes (3155059-026) PM2: Gas box (GIB): Yes MFC 1_CL2: Yes MFC 2_HBR: Yes MFC 3_SF6: Yes MFC 4_AR: Yes MFC 5_N2: Yes MFC 6_CF4: Yes MFC 7_O2: No MFC 8_SF6: Yes MFC 9_HE: Yes MFC 10_O2: Yes MFC 11_NF3: Yes MFC 12_30%O2/HE: Yes Regulator(12/12): 10/12 PM4: TCP Match: Yes TCP Coil: Yes Bias match: Yes Process manometer: Model no: E28B-23743 Range: 0.1 Torr Process manometer valve assy: No AC / SSR Box: Yes Fore line manometer: Yes Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes Turbo pump: Yes (ATM2300M) VME Assembly: Yes VAT Pendulum valve: Yes Foreline Assy: No He cooling / Lift box: Yes Motor stepper board: Yes RF Cart: PM2 Turbo controller: Yes Generator (TCP): Yes (660-900984-008) Generator (BIAS): Yes (3155059-026) PM3: Gas box (GIB): Yes MFC 1_CL2: Yes MFC 2_HBR: Yes MFC 3_SF6: Yes MFC 4_AR: Yes MFC 5_N2: Yes MFC 6_CF4: Yes MFC 7_O2: Yes MFC 8_SF6: Yes MFC 9_HE: Yes MFC 10_O2: Yes MFC 11_NF3: Yes MFC 12_30%O2/HE: Yes Regulator(12/12): 12/12.
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LAM RESEARCH 2300 Versys ist eine vollautomatische Ätzer/Ascher-Plattform, die vom führenden Anbieter von Halbleiterherstellungstechnologien, LAM RESEARCH, entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um die spezifischen Bedürfnisse der Gerätehersteller zu erfüllen, einschließlich der in der fortgeschrittenen CMOS, MEMS und Stromindustrie. Der Versys verwendet Plasmaätz- und Aschetechniken, um hochpräzise KEs zu engen Toleranzen zu erzeugen. Die Ätzkomponente verfügt über einen optimierten LAMSource Mikrowellengenerator, eine Präzisionsätzkammer und eine proprietäre Gasförderausrüstung. Die Aschekomponente verwendet das ChamberPlus-Aschverfahren, ein hochreaktives, leckagearmes Niedertemperaturaschsystem. Der Versys ist mit einem engen Prozessfenster konzipiert, das es ermöglicht, Funktionen mit Mikrometer Genauigkeit zu ätzen, zu aschen und zu definieren. Seine hohe Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit sorgen auch bei komplizierten und anspruchsvollsten Profilen für Präzision. Die Ätz- und Ascheprozesse werden dosisüberwacht und kantengesteuert, was eine vollständige Kontrolle über Ätz- und Ascheprofile sowohl in vordefinierten als auch in kundenspezifischen Topografien ermöglicht. Die Wafer-Handhabungseinheit ist vollautomatisiert und lösungsbasiert, was die Lieferung von pünktlicher Verarbeitung und Auftragsverdoppelung in einer einzigen Maschine vereinfacht. Das Versys ist benutzerfreundlich, mit einer großen und leicht lesbaren Touchscreen-Oberfläche, einer umfassenden Ätz- und Aschebibliothek und leistungsstarken Datenerfassungsfunktionen. Es bietet auch Echtzeit-Leistungsüberwachung und -kontrolle mit Überprüfung des Status, Alarme und Spuren. Der Versys ist eine komplette Ätz-/Aschelösung, die die Produktleistung und Produktivität steigert. Mit hohen Prozessausbeuten und maximaler Betriebszeit ist der Versys ein zuverlässiges Werkzeug, das schnell und kostengünstig Produktverbesserungen liefern soll.
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