Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys #9195904 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys
ID: 9195904
Reactive Ion Etch (RIE) system Process: Metal etch Integrated Circuit (IC) Wires and electrical connections Metal Hard Mask (MHM) Typical mask Flexible platform Controlling repeatable profiles Critical Dimensions (CD) BEOL Metal etching MHM Increase selectivity of low-dielectric insulating films With BEOL integration Controlling trench dimensions and roughness bottom line Interfere with productivity and compensating power Metal Hard Mask (MHM) (TiN) High density aluminum line Aluminum pad.
LAM RESEARCH 2300 Versys ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für Hochdurchsatz-DRIE (Deep Reactive Ion Etch) und ICP (Inductively Coupled Plasma) -Ätzanwendungen. Dieser Ätzer verfügt über eine dielektrische Kammer und ein fortschrittliches Vorschubsteuerungssystem, was ihn zur perfekten Wahl für Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz macht. Das Vorschubsteuersystem von 2300 Versys sorgt für einen sehr gleichmäßigen Ätzprozess, der reibungslose und wiederholbare Produktionsprozesse ermöglicht. Es kommt auch mit hochauflösenden Sensoren, um kritische Ätzprozessparameter zu überwachen, so dass eine fein abgestimmte Steuerung während des gesamten Prozesses möglich ist. LAM RESEARCH 2300 Versys ist gut für DRIE-Anwendungen geeignet, da es in der Lage ist, hohe Ätzraten und glatte Seitenwandprofile zu erzielen, die ideal für das aggressive Ätzen von dielektrischen Materialien sind. Es zeichnet sich durch einen gleichmäßigen Gasstrom innerhalb der Ätzumgebung aus, der eine präzise Steuerung der Ätzrate sowie wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. 2300 Versys bietet auch Hochleistungs-Hochfrequenz (RF) -Quellenoptionen, einschließlich Quellen für ICP-Ätzen. Dadurch können sowohl DRIE- als auch ICP-Prozesszyklen sequentiell durchgeführt werden, was die Prozessflexibilität und Effizienz erhöht. Darüber hinaus kann LAM RESEARCH 2300 Versys problemlos in große automatisierte Produktionsumgebungen integriert werden, was große Ätzanwendungen ermöglicht. Insgesamt ist 2300 Versys ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit hohem Durchsatz, der sowohl für ICP- als auch für DRIE-Anwendungen entwickelt wurde. Dieser Ätzer bietet präzise und wiederholbare Ätzprozesse aufgrund seines fortschrittlichen Vorschubsteuerungssystems, eines einheitlichen Gasflusses und Hochleistungs-HF-Quellenoptionen. Darüber hinaus kann es problemlos in große automatisierte Produktionsumgebungen integriert werden, was es zu einer idealen Wahl für Anwendungen mit Hochdurchsatz-Ätzen macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor