Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Versys #9282474 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Versys
ID: 9282474
Wafergröße: 12"
Metal etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300 Versys etcher/asher ist eine hochmoderne Ausrüstung, die eine hohe Durchsatzverarbeitung und eine höhere Prozessflexibilität ermöglicht. Das System ist speziell für die Beladung kompletter dreidimensionaler Werkzeuge auf eine Substratoberfläche mit sehr hohem Durchsatz und Prozesswiederholbarkeit ausgelegt. Es bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten wie reaktives Ionenätzen (RIE), Plasmaätzen und Aschen. Der Versys verfügt über eine fortschrittliche Multi-Jet-In-Situ-Prozesssteuerung, die in der Lage ist, branchenführende Einheitlichkeit zu erreichen. Es verfügt außerdem über eine temperaturunempfindliche Ätzrate und eine abstimmbare Maskierbarkeit, die eine höhere Genauigkeit und Kontrolle von Prozessparametern ermöglicht. Weitere Merkmale sind ein variabler Druckbereich, eine automatisierte Steuerung vorprogrammierter Ätzraten und die Möglichkeit, dreidimensionale Strukturen zu steuern. Der Versys bietet auch die Möglichkeit, reaktives Ionenätzen in eine Vielzahl von Ätzkammern zu integrieren. Dadurch kann das Gerät für spezielle Ätzanwendungen skaliert werden. Die Maschine ist außerdem mit einer mehrachsigen Stufenplattform ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung und Positionierung von Substraten sowie ein vollständig integriertes Vakuumwerkzeug ermöglicht, das die Prozessbedingungen steuert und eine hohe Gleichmäßigkeit bietet. Der Versys wurde mit einer fortschrittlichen Benutzeroberfläche und intuitiven Programmierwerkzeugen entwickelt, um eine effiziente und effektive Produktion von geätzten Produkten zu gewährleisten. Die fortschrittliche Software erleichtert die Feinabstimmung von Substratauswahl, Positionskontrolle und Prozessauswahl. Eine integrierte Designbibliothek ermöglicht das einfache und effiziente Abrufen und Übertragen von Prozessparametern, Formen und Masken für die Stapelverarbeitung. Schließlich verfügt das Asset über ein modulares Setup und einen Transfer-Indexer, der eine schnelle und einfache Verarbeitung zwischen Werkzeugen oder von einer Maschine zur anderen ermöglicht. 2300 Versys etcher/asher ist ein fortschrittliches Modell, das ein neues Maß an Präzision und Kontrolle über Ätz- und Ascheprozesse bietet. Die fortschrittliche Software, die integrierte Vakuumausrüstung und die mehrachsige Staging-Plattform ermöglichen eine höhere Genauigkeit und Produktion von dreidimensionalen Düsenstrukturen. Darüber hinaus ermöglichen die intuitive Benutzeroberfläche, die Designbibliotheksfunktionen und die Designbibliothek eine effiziente und effektive Produktion.
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