Gebraucht LAM RESEARCH 2300 #293654544 zu verkaufen

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Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
2300
ID: 293654544
Etcher Chamber (3) Kiyo chambers.
LAM RESEARCH 2300 ist ein branchenführender reaktiver Ionenätzer und Ascher, der in einer Prozesskammer arbeitet. Dieses vollautomatisierte System ist in der Lage, präzise Linearität, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit in einem Ätz- und Aschevorgang zu erreichen. 2300 wurde für den Einsatz in der Halbleiter- und Forschungs- und Entwicklungsindustrie entwickelt und bietet Flexibilität und Genauigkeit, die den Anforderungen unterschiedlichster Prozesse gerecht werden können. LAM RESEARCH 2300 erstellt ein einheitliches Ätzprofil mit ausgeklügeltem Duschkopfdesign. Dieses integrierte Design schafft einen effizienteren, einheitlichen Ätzprozess, der letztlich zu einer genaueren Ätztiefe und Gleichmäßigkeit im gesamten Wafer führt. 2300 ist auch als komplettes einteiliges System konzipiert, das eine bessere Zugänglichkeit und eine bessere Wartung ermöglicht. Bei einteiliger Montage wird die Oberleitungsbahn außerhalb des Waferschutzbereichs auf einen minimalen Gesamtraumbedarf gehalten. LAM RESEARCH 2300 ist mit den neuesten Prozesstechnologien ausgestattet, darunter Hochfrequenz- und Leistungsmodulation, die Möglichkeit, zwischen Gasfluss oder Druck zum Ätzen, variabler Bordgaszusammensetzung, variabler Gasflussregelung und variabler Leistungsregelung zu wählen. Diese Funktionen können gemeinsam zur Optimierung von Ätzprozessen verwendet werden, die auf die Bedürfnisse eines bestimmten Anwendungstyps zugeschnitten sind. Darüber hinaus bietet 2300 auch Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit, bietet eine hochpräzise Prozesssteuerung und gleichmäßige Temperaturverteilung über den gesamten Wafer und trägt zu zuverlässigen und wiederholbaren Prozessen bei. LAM RESEARCH 2300 verfügt neben hochpräzisen Prozessen über erweiterte Sicherheitsmerkmale. Dazu gehören Virtual Guard Technology (VGT), ein System von eingebetteten Sensoren, das den Schutzschirm gegenüber dem Waferschutzbereich kontinuierlich überwacht und das Gerät und den Benutzer vor potenziellen Gefahren durch unsachgemäßen Gebrauch schützt. Zum Abschluss bietet 2300 einen präzisen, zuverlässigen und automatischen Prozess, der in der Lage ist, die Anforderungen unterschiedlichster Prozesse zu erfüllen, einschließlich Halbleiter- und Forschungs- und Entwicklungsindustrien. Das einteilige Design und die virtuelle Schutztechnik machen es zur idealen Lösung für alle Ätz- und Aschebedürfnisse, unabhängig vom Anwendungstyp.
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