Gebraucht LAM RESEARCH 2300 #293657750 zu verkaufen

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Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
2300
ID: 293657750
Weinlese: 2008
Etcher 2008 vintage.
LAM RESEARCH 2300 ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für Halbleiter- und andere mikroelektronische Anwendungen entwickelt wurde. 2300 nutzt fortschrittliche Plasmaätztechnologie, um eine Umgebung für das präzise Ätzen der kompliziertesten Gerätestrukturen zu schaffen. Es arbeitet, indem es eine Plasmaentladung erzeugt, um einen Hochtemperaturzustand innerhalb der Kammer zu schaffen, wodurch ein sauberer und präziser Ätzvorgang ermöglicht wird. Der Benutzer legt dann einen Satz von Ätzparametern wie Zeit, Leistung, Gaszusammensetzung und Druck fest. LAM RESEARCH 2300 konfiguriert sich dann für eine optimale Verarbeitung der spezifischen Struktur und des zu ätzenden Materials. 2300 verwendet eine gepulste HF-Plasmaentladung zwischen einer zweistufigen kapazitiv gekoppelten Plasmaquelle und einem Ein- Step™-Substrat-Spanntisch. Diese Technologie ermöglicht eine exzellente Prozesssteuerung während des gesamten Ätzprozesses. LAM RESEARCH 2300 ist mit den Smart Processing Controllern von LAM ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, den Ätzprozess von der Computerschnittstelle des Systems aus zu steuern und zu überwachen. Dieser Controller kann alle Ätzprobleme automatisch beheben und dem Benutzer sofortiges Feedback geben. 2300 ist auch in der Lage, eine gleichmäßige Plasmadichte im gesamten Ätzer zu erzeugen, eine breite Palette von Gasen für eine optimale Prozesssteuerung zu verwenden und eine hohe Gleichmäßigkeit sowohl in physikalischen Eigenschaften als auch in Ätzprofilen für mehrere Prozessschritte zu liefern. Es umfasst auch Funktionen wie Strahlprofilierung und seitliche Kontrolle für die Wartung der Produktqualität. LAM RESEARCH 2300 ist für eine schnelle Lieferung von Wafern und einen effektiven Betrieb bei minimaler Wartung optimiert. Es verfügt über das branchenführende Precision Modular® Track-Design, mit dem Anwender die Zeit für Substratübertragungen und Ätzergebnisse zu höheren Geräteerträgen und einer saubereren Verarbeitung reduzieren können. Insgesamt ist 2300 ein All-in-One-Ätz- und Ascher mit fortschrittlichen Ätz- und Aschetechnologien, die einen präzisen und einheitlichen Ätzprozess für eine Vielzahl von Halbleiter- und anderen mikroelektronischen Anwendungen liefern. Es wurde entwickelt, um hochpräzise Ätzergebnisse bei minimaler Wartung zu liefern und gleichzeitig optimale Substratdurchlaufzeiten zu erhalten.
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