Gebraucht LAM RESEARCH 2300 #9083803 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9083803
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Oxide etcher, 8"
Cass nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
(4) Process chambers:
Position 1: 2300 Exelan
Position 2: 2300 Exelan
Position 3: 2300 Exelan
Position 4: 2300 Exelan
Front end load port cassette:
(3) Open cassettes iPX
Backing pumps for TM iPX
User interface option: Side and front monitor UI
Earth leakage breaker ELB
Signal tower
SECS / GEM
Plat from type: Version 2
2300 Exelan options:
Chamber type: 2300 Exelan CFE
Upper electrode heated
ESC Cooling dual zone
1600 L/S EDWARDS Turbo pump, 8"
Endpoint detection optical emission spectroscopy
Chamber isolation valve rocker gate valve
2300 Gas box:
Gas system type: Enhanced gas box II
Std stacking kits: 4 PM stacking kit
Gas line 12 gas configuration
Gas box inlet option: Regulated inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Gas box configuration:
PM1 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM2 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm(Tuning gas)
PM3 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm(Tuning gas)
PM4 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
2300 Peripherals:
DFC Backing pumps cust supply
DFC TCU Config lam supply: (4) 4080 Plus
Gas scrubber: EBARA GTE-3-0WVT
Power distribution module: RPDB
Dry pumps:
TM EDWARDS iPX 100A
PM1 EBARA AA100W
PM2 EBARA AA100W
PM3 EBARA AA100W
PM4 EBARA AA100W
No SMIF interface
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan ist ein technologisch fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der speziell für die Serienproduktion von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Der Exelan ist in der Lage, bei hohen Geschwindigkeiten zu ätzen und zu aschen und gleichzeitig äußerst präzise Ergebnisse zu erzielen. Der einzigartige halbwässrige chemische Prozess sorgt für eine gleichmäßige Struktur und Oberflächenqualität. Das Gerät ist in der Lage, Hochdurchsatz-Ätzen und Aschen von Silizium-Wafern durchzuführen, und kann maximal drei 200-mm (8-Zoll) Wafer gleichzeitig behandeln. Der Exelan verfügt über erweiterte Prozesssteuerungs- und Integrationsmöglichkeiten für prozessautomatisierte Abläufe. Sein hochpräzises optisches Weißlichtsystem ermöglicht es dem Gerät, das Ätzen und Aschen mit Präzision und Genauigkeit durchzuführen. Seine fortschrittliche Automatisierungsmaschine bietet eine lokalisierte und flexible Steuerungsstrategie, die eine gleichzeitige Steuerung verschiedener Prozessparameter ermöglicht. Der integrierte Roboterarm minimiert die Zykluszeit und liefert wiederholbare Ergebnisse. Die Softwaresteuerungen der Maschine bieten eine komplette Palette von Prozesssteuerungs- und Integrationskapazitäten. Sie umfassen eine breite Palette von Variablen wie hochpräzise optische Registrierungssysteme, automatische Stabilisierungssteuerungssysteme, Präzisionswaferorientierungssysteme und integrierte Roboterarme. Das Tool ist mit einer umfangreichen Rezepturbibliothek ausgestattet, auf die für Anwendungen mit ähnlichen Bearbeitungsanforderungen zugegriffen und wiederverwendet werden kann. Der Exelan bietet zudem eine umfassende Palette von Prozess-, Diagnose- und Datenanalysefunktionen. Das Asset verfügt über einen Prozess-Minirobot mit automatischem Be- und Entladen von Wafern. Zusätzlich verfügt das Modell über eingebaute Diagnosewerkzeuge, die eine Überwachung und Analyse des Ätz- und Ascheprozesses ermöglichen. Darüber hinaus bietet die Anlage Prozesssteuerungssoftware an, mit der Ingenieure ihre Prozesse auf optimale Leistung und Effizienz abstimmen können. Der modulare Aufbau des Exelan ermöglicht die Anpassung an zusätzliche Funktionen wie Stickstoffinertisierungssysteme, Rezirkulationssysteme und zusätzliche chemische Liefersysteme. Das System entspricht verschiedenen Sicherheits- und Umweltstandards und hat verschiedene Sicherheitskontrollen in verschiedenen Prüfverfahren bestanden. Die Einheit trägt nachweislich zur Senkung der Betriebskosten bei und bietet niedrige Gesamtbetriebskosten. Insgesamt ist 2300 Exelan eine fortschrittliche Maschine, die für Hochleistungs-Ätz- und -Ashing-Aufgaben geeignet ist. Das Werkzeug ist ideal für Serienanwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, da es zeit- und kosteneffiziente Operationen ermöglicht. Die integrierten Prozesssteuerungs- und Automatisierungsfunktionen des Asset bieten eine konsistente und wiederholbare Leistung, während das breite Spektrum an Prozess-, Diagnose- und Datenanalysefunktionen für Prozessoptimierung und -effizienz sorgt.
Es liegen noch keine Bewertungen vor