Gebraucht LAM RESEARCH 2300 #9176731 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
2300
ID: 9176731
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Poly etcher, 12" (2) Chambers (12) Enhanced poly gas boxes: (12) Unit 1660 and 1661 MFCs: Unit 1661 tbd Unit 1661 tbd Unit 1661 CL2 250 sccm Unit 1661 Tbd Unit 1661 CF4 200 sccm Unit 1661 tbd Unit 1661 NF3 300 sccm Unit 1660 He 200 sccm Unit 1660 HBr 200 sccm Unit 1661 N2 250 sccm Unit 1660 Ar 100 sccm Unit 1660 O2 200 sccm P/N: 571-471052-001 Currently de-install and warehoused 2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher mit großer Kapazität. Es wurde entwickelt, um eine breite Palette von Substraten in einer hochintegrierten, vollautomatischen Ausrüstung zu ätzen/zu verarbeiten. Das System verfügt über eine hochmoderne Prozesssteuerung mit einer ganzen Reihe von Sensoren, Controllern und Software, die es Anwendern ermöglichen, ihre Substrate auf effizienteste und kostengünstigste Weise zu verarbeiten. 2300 ist in der Lage, qualitativ hochwertige Ätz-/Ascheanwendungen für eine Reihe von Substraten zu liefern, einschließlich CMOS- und MEMS-Bauelementen, Photoresist, bleifreie Legierungen und pharmazeutische Substrate sowie gängige Metalle wie Kupfer, Aluminium, Nickel und Titan. LAM RESEARCH 2300 bietet ein hohes Seitenverhältnis bei der Ätzung und Reinigung auf großen Substratflächen sowie die Flexibilität, Substrate unterschiedlicher Formen und Größen zu verarbeiten. 2300 verwendet ein einzigartiges Niederspannungs-Ätzverfahren, das übermäßiges Metallsputtern eliminiert, überlegene Ätzleistung und Gleichmäßigkeit, längere Lebensdauer der Pumpe und reduzierte Rückstände auf dem Substrat liefert. Das Verfahren kann auf die spezifischen Anforderungen des Substrats und der Anwendung abgestimmt werden und bietet gleichzeitig eine hohe Selektivität, Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. Die Einheit kommt ausgestattet mit einer Reihe von fortgeschrittenen Eigenschaften, einschließlich einer völlig automatisierten Raum-zu-Raum-Flusskontrollmaschine, eines hoch konfigurierbaren rezeptgesteuerten Werkzeugs mit dem Fluss und der Druck-Kontrolle, der Echtzeitanlageüberwachung und einer breiten Auswahl an Prozessgasen mit kontrollierbaren Flüssen. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH 2300 über eine automatisierte Gasmischanlage, die es Betreibern ermöglicht, das Gasgemisch zu steuern, was ein Schlüsselparameter für Ätzeffizienz und Prozesssteuerung ist. Das Modell ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die eine sichere Eindämmung der Prozessgase, einen Schutz vor zu hohen Prozessbereichen und eine automatisierte Abschaltung im Falle einer Prozessstörung ermöglichen. Insgesamt bietet 2300 eine äußerst zuverlässige, flexible und kostengünstige Ätzlösung für eine Vielzahl von Substraten und Anwendungen.
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