Gebraucht LAM RESEARCH 2300 #9197892 zu verkaufen

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Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
2300
ID: 9197892
Weinlese: 2011
Etcher Model: Syndion Flow rate: Vibration: ±2% Digital MFC Gases Size Purity C4F8 400 sccm 99.999% (5N) SF6 1800 sccm 99.999% (5N) Ar 200 scm 99.9995% (5N5) O2 200 sccm 99.999% (5N5) CF4 500 sccm 99.999% (5N5) Pressure: PM Pumpdown: 500mTorr APC Valve open LL Pumpdown: 80mTorr Gate valve open Temperature: ±2° C Vibration Forward power: ±1% Vibration Ref power: ±1% Vibration Process module configuration: Transport L/L Chamber: Dry pump pumping speed: 37 m³/h Etch process chamber (Type: Syndion) Power system: TCP Generator (AE 3000W) Bias generator (AE 2000W) Pressure system: MKS Gauge (100mTorr / 500mTorr / 10000mTorr) ESC (Monopolar) Dry pump not included 2011 vintage.
LAM RESEARCH 2300 ist ein fortschrittlicher Ätzer oder Ascher zur Herstellung mikroelektronischer Komponenten. Diese hochmoderne Ausrüstung bietet die genaue Steuerung, die für die Erstellung präziser Muster und Schaltungen auf Mikrochips erforderlich ist und die Herstellung von Hochleistungskomponenten für Anwendungen wie Systeme auf Chips (SOCs), Sensoren und Mikrocontroller ermöglicht. 2300 verwendet einen mehrstufigen Ätzprozess mit physikalischer Dampfabscheidung (PVD) und chemischer Dampfabscheidung (CVD), der das gleichmäßige und konsistente Ätzen vieler verschiedener Materialien, einschließlich Aluminium, Kupfer und Polysilizium, ermöglicht. Das CVD-Verfahren wird insbesondere zur Abscheidung dünner Filme und zur Erzeugung komplizierter Muster auf Mikrochips verwendet. LAM RESEARCH 2300 unterstützt eine Reihe von Anwendungen, darunter das Ätzen von Submikron-Mustern, das Ausdünnen von Substraten und das Abscheiden verschiedener Materialschichten. Dank seiner fortschrittlichen Technologie kann das System auch Halbleiterbauelemente so dünn wie 100nm oder niedriger erreichen. Andere Merkmale von 2300, wie seine erweiterte Steuereinheit, ermöglichen eine überlegene Genauigkeit, Wiederholbarkeit und erweiterte Langlebigkeit. Dank LAM RESEARCH 2300 ist eine genaue und konsistente Profilätzung mit minimaler Komplexität erreichbar. Bekannt ist die Maschine auch für ihre hervorragende Prozesswiederholbarkeit, die für die Großserienfertigung unerlässlich ist, und ihre automatisierte rezeptbasierte Prozesssteuerung. Insgesamt ist 2300 ein wertvolles Werkzeug für die Herstellung leistungsfähiger, zuverlässiger Mikroelektronik-Komponenten. Seine ausgeklügelte Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit, kombiniert mit seinem vielseitigen Anwendungsspektrum, machen es zur perfekten Wahl für hochpräzises Mikrochip-Ätzen.
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