Gebraucht LAM RESEARCH 2300 #9377279 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 ist eine Ätz-/Aschermaschine für Waferbearbeitungsanwendungen. Es ist in der Lage, Material aus Wafern unterschiedlicher Größe zu ätzen, zu entfernen und abzulegen. 2300-System ist für hohen Durchsatz, wiederholbare Präzision und niedrige Betriebskosten ausgelegt. LAM RESEARCH 2300 Ätzer/Ascher kann Wafergrößen von 55mm bis 200mm handhaben. Es ist in der Lage, Materialien mit einem breiten Spektrum von Ätzraten abzuscheiden und zu ätzen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Polysilizium, Polyimide, Oxide, Nitride und Metalle. Es hat auch eine Präzisionsätzfähigkeit, die hilft, qualitativ hochwertige Funktionen mit enger Prozesskontrolle zu schaffen. In Bezug auf Eigenschaften wird die Einheit mit einem gestützten Mehrzonenvakuum ausgestattet ätzen Raum, Stickstoff und Heliumsbereinigungssysteme, eine kälteerzeugende Pumpe, um hochgenaue Lieferung dessen zu bieten, ätzt Gase, eine Ionsquelle für das Ätzen und eine Hochleistungssubstrattransportmaschine. Das Tool enthält auch ein In-situ-Diagnoseelement, das die Prozessoptimierung ermöglicht. Die Ätzgleichmäßigkeit von 2300 ist bei der Verarbeitung von Wafern ähnlicher Größen, Dicken und Materialien sehr wiederholbar. Seine Vakuumfolien-Abscheidungsfähigkeiten machen es auch zur semiselektiven Abscheidung von Materialien fähig. Darüber hinaus ist das Modell so konzipiert, dass es eine sichere Arbeitsumgebung für Bediener bietet, mit zusätzlichen Sicherheitsmerkmalen wie einer Sensorausrüstung, die das System automatisch abschaltet, wenn unsichere Bedingungen erkannt werden. Das Gerät verfügt außerdem über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Benutzer die Prozessparameter und andere Einstellungen einfach überwachen und steuern können. Die GUI ermöglicht es Benutzern auch, benutzerdefinierte Rezepte hochzuladen, um den Ätzprozess zu beschleunigen. LAM RESEARCH 2300 etcher/asher ist so zuverlässig und gut unterstützt wie jede andere Maschine desselben High-End-Anbieters. Seine einfache Bedienung und präzise Ätzfähigkeit machen es zu einer bevorzugten Wahl für viele Waferbearbeitungsanwendungen.