Gebraucht LAM RESEARCH 2300 #9407004 zu verkaufen
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ID: 9407004
Weinlese: 2006
Etcher
EFEM
TM
AC Rack
Spare parts
(4) PTC LANTRA 1300
Load port
RF Cart
Gas frame
RPDB
Gas box
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 ist eine branchenführende, fortschrittliche Nassätz-/Ascheausrüstung, die von der LAM RESEARCH Corporation entwickelt wurde. Dieses System ist speziell für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben hoher Dichte und für überlegene Ätzkonsistenz und Gleichmäßigkeit ausgelegt. 2300-Einheit wurde entwickelt, um ein höheres Leistungsniveau als bisher verfügbare Nassätzsysteme zu bieten, und verfügt über preisgekrönte, patentierte Technologie, um branchenführende Ätzraten, Einheitlichkeit und Genauigkeit zu bieten. LAM RESEARCH 2300 besteht aus einer Chemical Delivery Machine (CDS), die eine umfassende Palette von Prozessgasen bietet, sowie zwei Wärmetauschern zur präzisen Regelung der Substrattemperatur. Sowohl der CDS als auch der Wärmetauscher werden über den eingebetteten Controller aktiv gewartet und optimiert, um eine zuverlässige, wiederholbare und konsistente Ätzleistung zu gewährleisten. 2300 enthält auch eine Prozesskammer, die eine fortgeschrittene Ätzerplasma erzeugende Quelle beherbergt. Diese einzigartige Quelle ist in der Lage, eine große Palette von verschiedenen Plasmatypen und -frequenzen zu erzeugen, und arbeitet zusammen mit den CDS und Wärmetauschern, um überlegene Ätzergebnisse über die gesamte Dichte von Wafern zu liefern. Darüber hinaus ist das LAM RESEARCH 2300 Tool einfach zu installieren und zu warten und verfügt über eine Vielzahl von Sicherheits- und Diagnosefunktionen, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Die Anlage ist auch kompatibel mit einer breiten Palette von Waferträgern und unterstützt bis zu vier Millionen Wafer pro Tag und bietet einen extrem hohen Durchsatz für die Großserienproduktion. Abschließend ist 2300 ein leistungsstarkes, fortschrittliches Ätz- und Aschemodell, das höchste Leistung und Zuverlässigkeit bietet. Die Kombination aus branchenführender Hardware und Software sorgt für überlegene Ergebnisse in einer Vielzahl von Prozess- und Substrattypen, während die intuitiven Design- und Diagnosefunktionen die Einrichtung und Wartung vereinfachen.
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