Gebraucht LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #293601041 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293601041
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2017
Dielectric etcher, 12"
Seismic bracket TM
Weight dist plate TM
(3) Seismic brackets PM
(3) 2300 Flex DX
2300e4 Platform
2300 Process module
2300 Flex D Series option
(3) 4XX Series ESCs
(3) PM Facilities: Dual with temp monitor
(3) Flow meters: 10 GPM
(3) eDGF+ Gas feeds
Dual zone ESC Cooling flex
D Series
Heated foreline manometer
Top Pl Chamber manometer
Baffle
Lower isolation valve: Viton
Chemraz vacuum valve
Interconnect hardware:
Pump to TCU 100ft
TCU to PM 100ft
(3) Interconnect hardware: Pump to PM 100ft
EMO Cables:
(3) TCU to RPDB 50 ft
(3) Pump to RPDB 50 ft
2300 Flex D Series quick clean kit
2300 Gas box
2300 Flex D Series Jetstream
(3) Jetstream gas lines
(6) Heated gas lines
(51) HORIBA D519
(17) SST Facility interface boxes
(17) SST Facility interface boxes
UI Display with disp trans
(16) UI Display with disp trans
2300 Platform (E)
(3) Hermos carrier ID
Additional load port
(3) Corrosion resistant LPM
WIDS Btm read
RGV / OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
AUX Buffer: 25 Slot
Vespel wafer finger
EDWARDS iXL
Vespel single sense
Advanced aligner
User Interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Internal UPS bypass with UPS
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100 ft
Signal light tower, R-G-A Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Flow monitoring
System calibration and alignment
Service step for PM
Ionizer kit
ATM Duct interface
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv fittings
APCS
SVID and facility interface board
VTM Breakout board / cover
2nd TM Pump standard with EQ
2300 Peripheral
(3) Non-qual 2-Channel TCU
Gateway communication
2300 Ship ahead
Standard ship ahead item
2300 Additional enhancement
Standard process quality
Standard training
Wafer flow tuning
APC Recipe tuning host
2nd HSMS
NSR 8423, Hardware firewall
EDA2
NSRL 1000
Generator: 60 MHz
2017 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX ist ein fortschrittlicher Hochdurchsatz-Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um hochpräzise Mikrostrukturen zu schaffen. Dieser Ätzer/Ascher ist mit einer breiten Palette von Ätzfähigkeiten ausgestattet und kann sehr detaillierte und genaue Schichten von geätztem Substrat herstellen. Das Gerät nutzt fortschrittliche Technologien, um Materialien wie Silizium und Verbundhalbleiter einfach zu verarbeiten. 2300e4 Exelan Flex DX verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-Scan-Mechanismus, der mit seinem optischen Hochvergrößerungssystem große Ziele schnell scannen kann. Dieses Gerät verfügt auch über die neuesten Lasertechnologien, die eine extreme Genauigkeit und Präzision beim Ätzen gewährleisten. Darüber hinaus ist der Ätzer/Ascher auch mit einer Reihe von kundenspezifischen Ätzrezepten ausgestattet, mit denen hochspezifische Strukturen hergestellt werden können. Dies erleichtert es Anwendern, eine Vielzahl von Strukturen mit Leichtigkeit herzustellen. Die Maschine bietet zudem eine verbesserte Prozesssteuerung, die eine höhere Prozesswiederholbarkeit und -optimierung garantiert. Neben seinen Ätzfähigkeiten verfügt LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX auch über fortschrittliche Kühlsysteme, die eine optimale Leistung und längere Lebensdauer der Maschine gewährleisten. Es verfügt auch über einen programmierbaren Logik-Controller (SPS), der es Kunden ermöglicht, die Werkzeugparameter nach ihren genauen Bedürfnissen anzupassen. Die Anlage verfügt auch über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie Not-Aus-Tasten und Verriegelungen, die das Unfallrisiko verringern. Darüber hinaus sind Wartungs- und Servicefunktionen in das Modell integriert, so dass Benutzer die Ausrüstung problemlos auf optimalem Niveau funktionieren lassen können. Abschließend ist 2300e4 Exelan Flex DX ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, hoch detaillierte und genaue Schichten aus geätztem Substrat zu produzieren. Es kommt mit einer Reihe von kundenspezifischen Ätzrezepten, fortschrittlichen Kühlsystemen und fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, was es zu einem zuverlässigen und zuverlässigen Ätzer/Ascher für Industrie- und Forschungsanwendungen macht.
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