Gebraucht LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9354411 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX
ID: 9354411
Wafergröße: 12"
Dielectric etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX ist eine Ätz-/Aschermaschine für fortgeschrittene Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Es bietet eine schnelle, flexible und wiederholbare Verarbeitung von Halbleiterscheiben mit optimierten, fortschrittlichen Ätz- und Ascheprozessen. Dieses System wurde speziell entwickelt, um anspruchsvolle Aufgaben in der fortschrittlichen Halbleiterverarbeitung zu bewältigen. Die 2300e4-Einheit bietet eine schnelle und wiederholbare Waferbearbeitung durch flexible Verarbeitung und fortschrittliche Ätz-/Ascher-Rezeptsteuerung. Die Bearbeitungsköpfe sorgen auch bei der Bearbeitung mehrerer unterschiedlicher Geometrien präzise für eine schnelle Bewegung über Wafer hinweg. Mit seiner „Smart Processor“ -Funktion kann die 2300e4-Maschine Rezept-Parameter automatisch anpassen, um Ätz- oder Ascheraten zu optimieren, was zu qualitativ hochwertigeren Ergebnissen führt. Das eingebaute Feature-Set des 2300e4 sorgt für wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse. Automatisierte Endpunkterkennung und Prozessüberwachung unterstützen die Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Waferdicke. Diese Merkmale, zusammen mit einem robusten Umweltmanagementwerkzeug, führen zu einer möglichst geringen Fehlerquote, einer gleichbleibenden Ätz-/Ascherrate und Gleichmäßigkeit. Das 2300e4 Asset beinhaltet ein leistungsfähiges, wartungsarmes Softwarepaket. Das Softwarepaket bietet einfach zu bedienende und leistungsstarke grafische Benutzeroberflächen, Diagnose- und Prozesssteuerung, Rezept-Erstellung, Prozessprotokoll und Rezeptverwaltungsfunktionen. Das Modell enthält auch eine robuste Bibliothek mit Ätz-/Ascherezepten, die nach Bedarf bearbeitet und angepasst werden können. Die Geräte bieten auch umfassende Prozessüberwachung und Validierung, um konsistente Ätz-/Ascheraten zu gewährleisten. 2300e4 Exelan Flex DX Etch/Asher System ist für zuverlässige, effiziente und wiederholbare Verarbeitung von Multi-Geometrie-Halbleiterscheiben entwickelt. Dieses Gerät bietet eine schnelle, flexible und wiederholbare Verarbeitung mit fortschrittlicher Ätz-/Ascherezept-Steuerung. Die integrierten Features bieten eine automatisierte Endpunkterkennung und Prozessüberwachung auf Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Waferdicke. Die benutzerfreundlichen und leistungsstarken grafischen Benutzeroberflächen machen Etch/Asher-Rezeptaufbau und Prozesssteuerung einfach zu bedienen. Die 2300e4-Maschine ist eine ideale Lösung für fortschrittliche Halbleiterverarbeitungsanwendungen, die verbesserte Prozessausbeuten und Gleichmäßigkeit ergeben.
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