Gebraucht LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385677 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9385677
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
Dielectric etcher, 12"
Type: (3) FOUPs
User interface: Side and front monitor U
(3) Hermos Carrier ID
Light curtain with OHT / RGV
25 Slots input buffer station
Conditioning station
UPS Circuitry system
Earth leakage breaker
TM-Subpanel cable: 100 ft
Calibration and alignment system
Air intake system: MEV
NSR8423 Hardware firewall
Differential pressure: ATM
Skywhite front fascia
Wafer flow tuning
APC Recipe tuning host
2nd HSMS
4XX Series ESC
Flow meter: 10 GPM
Dual PM facilities
With temperature monitor
Generator: 60 MHz
Adjustable gap
Dual zone ESC Cooling
Standard conductance kit
Heated foreline manometer
Interconnect hardware:
Pump to TCU: 100 ft
TCU to PM: 100 ft
Pump to PM: 100 ft
EMO Cable:
TCU to RPDB: 50 ft
Pump to RPDB: 50 ft
Talon
Quick clean kit
(3) 2300 Gas boxes
(30) Jetstream gas lines
(6) Heated gas lines
(3) NSR MFC
(17) Facility interface boxes
2015 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX ist ein Trockenätzer/Ascher für hochvolumige dreidimensionale Elektronik und großflächige Abscheidungsanwendungen. Sie bietet gegenüber anderen Ätzern und Aschern erhebliche Verbesserungen hinsichtlich Durchsatz, Prozesssteuerung und Prozesswiederholbarkeit. 2300e4 Exelan Flex DX verfügt über ein fortschrittliches Abscheideverfahren, das seinen Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen ermöglicht. Es wird häufig für Dünnschichtabscheidung sowie Ätzen und Aschen von großflächigen Substraten verwendet. Es verfügt über vier auswählbare Quellen, darunter XeF2, O2, NF3, Cl2 und Ar. Der Exelan Flex DX kann für eine Vielzahl von Materialien und Substraten konfiguriert werden. Einer der Hauptvorteile von LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX ist seine Hochdurchsatzfähigkeit. Es ist in der Lage, bis zu 37u Schichten pro Stunde zu produzieren, je nach Konfiguration und Prozessparameter verwendet. Der Ätzer/Ascher ist vollautomatisiert für genaue und wiederholbare Prozesse, mit eingebetteter Prozesssteuerung und Prozessüberwachung. 2300e4 Exelan Flex DX bietet auch überlegene Prozessqualität. Seine einstellbare Plasmadichte und Druckregelung sorgt für eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Abscheidungsprozesses. Der Exelan Flex DX ist zudem mit einem fortschrittlichen Reinigungssystem ausgestattet, das den Reinigungsprozess optimiert und die Prozesswiederholbarkeit verbessert. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX mehrere wichtige Sicherheitsmerkmale. Dazu gehören eine automatische Abschaltfunktion bei einer Not- oder Prozessunregelmäßigkeit sowie Last- und Substrathaltersicherheitssysteme. Diese Sicherheitsmerkmale ermöglichen den Einsatz des Ätzers/Aschers in einer Vielzahl von Anwendungen mit minimalem Risiko. Insgesamt ist 2300e4 Exelan Flex DX ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für hochvolumige dreidimensionale Elektronik und großflächige Abscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet überlegene Durchsatz- und Prozessqualität sowie wichtige Sicherheitsmerkmale, um eine optimale Sicherheit und Prozesswiederholbarkeit zu gewährleisten.
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