Gebraucht LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385701 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX ist ein Ätzer/Ascher mit mehreren fortschrittlichen Technologien für Präzisionskontrolle, Flexibilität und Leistung. Dieses Gerät wird von der Exelan Flex DX-Steuerung von LAM angetrieben, die eine vollständige Softwareintegration und ein umfassendes Spektrum an Funktionen bietet, darunter wählbaren O2 ETCH oder Hochleistungs-O2-Aschenbetrieb, erweiterte Ätzsteuerung, temperaturbasierte Prozesssteuerung und Temperaturprofilierung. Das Gerät verfügt über einen 4-positionierten, 42-in4, prozessqualifizierten Herd mit einer beweglichen Heizeinrichtung für optimale Gleichmäßigkeit. Der Herd ist mit einem keramisch verkleideten feuerfesten Material für maximale Betriebstemperaturen bis 1600 ° C und einem optionalen 250-Watt-HF-Generator für UKW oder ECR-Ätzen ausgekleidet. Die Exelan Flex DX Software ermöglicht eine einfache und präzise Prozesseinrichtung und Simulation und ermöglicht es Benutzern, bis zu 64 Prozessrezepte mit ihren eigenen benutzerdefinierten Parametern zu speichern. Die integrierte Gasfördermaschine ist unübertroffen und ermöglicht präzise Einleitungen von bis zu vier Gasen, die zum Ätzen oder Aschen mit individuellen Durchflussraten und Spülen verwendet werden. Mit dem integrierten Durchflussregler können Druck und Durchfluss sowie O2- und Ar-Pegel sofort überwacht und eingestellt werden. Das Elektrolytkatalysatormodul ermöglicht es Anwendern, ihr Reaktionswissen über das Ätzen oder Aschen hinaus zu erweitern, um Prozesse wie Filmwachstum, elektrolytische Reinigung und Diffusion einzubeziehen. 2300e4 Exelan Flex DX enthält auch ein fortschrittliches Präzisionssputtermodul, das eine unabhängige Steuerung von Ziel und Leistung bietet, um die Gleichmäßigkeit des Sputters zu gewährleisten. Ein integrierter Verschlussmechanismus, eine Drehkammer für einfaches Probenhandling und eine Quad-Turbo-Molekularpumpe sind alle auf diesem Werkzeug vorhanden. Zusammen verbinden sich diese Merkmale für eine überlegene Oberflächenvorbereitung, damit Anwender jeden Prozess wiederholbarer und zuverlässiger machen können.