Gebraucht LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX #293766466 zu verkaufen
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ID: 293766466
Weinlese: 2018
Dielectric etcher
(4) 2300 Flex GX
2300e4 Platform
(4) Heated foreline manometer
(4) Chemraz vacuum valve
(4) NSR102216, RPDB for GX
(4) NSR102105, FLEX GX PM
Flex GX Quick clean kit
(4) 2300 Flex GX Jetstream gas box
3 Foup TDK
(4) Hermos carrier ID
WIDS Btm read
RGV/OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
25 Slot aux buffer
VTM Pump: Edwards (EPX)
Vespel single sense
User interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100ft
Signal light tower, R-O-G-B Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Sys calibration and alignment
Service step for PM
VTM Robot lift
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv Fittings
APCS
NSR10702, N2 Flow monitoring on UP
Gas box:
(36) Jetstream gas line heated
(16) Gas line additional tuning
(4) Gas line non standard MFC
(9) NSR102690, Flex GX Gas line
(8) Flex GX Tuning Gas option
(1) Facility interface box
(17) Facility interface box
AFVi
2018 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine für Halbleiterherstellungsprozesse. Dieses hochmoderne Werkzeug bietet eine Reihe von Möglichkeiten zum Ätzen und Aschen von Anwendungen und bietet hohe Präzision und Zuverlässigkeit in einer Produktionsumgebung. Das System vereint innovative Technologie und benutzerfreundliche Funktionen, um den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. 2300e4 Exelan Flex GX verfügt über eine vielseitige Plattform, die verschiedene Ätz- und Ascheprozesse unterstützt und somit für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterherstellung geeignet ist. Es ist mit fortschrittlichen Plasmaquellen, Gaszufuhrsystemen und Prozesskontrolltechnologien ausgestattet, die eine präzise Kontrolle über Ätzparameter wie Selektivität, Gleichmäßigkeit und Prozessrate ermöglichen. Das Gerät bietet Flexibilität in der Prozessentwicklung und -optimierung, so dass Anwender optimale Ergebnisse für ihre spezifischen Anwendungen erzielen können. Eine der Schlüsseltechnologien, die in LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX integriert sind, ist die Exelan Flex Advanced Control Machine, die eine Echtzeit-Überwachung und Anpassung von Prozessparametern bietet. Dieses Tool bietet überlegene Prozesssteuerungsfunktionen, sodass Anwender eine hohe Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit über Wafer hinweg erreichen können. Das Exelan Flex Control Asset unterstützt auch fortschrittliche Prozessrezepte und ermöglicht eine einfache Integration mit anderen Prozesswerkzeugen für einen nahtlosen Produktionsablauf. 2300e4 Exelan Flex GX ist für hohe Produktivität und Durchsatz konzipiert, mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen, die Zykluszeiten reduzieren und die Betriebseffizienz erhöhen. Das Modell ist mit einer Mehrkammerkonfiguration ausgestattet, die eine parallele Verarbeitung mehrerer Wafer ermöglicht, die einen hohen Durchsatz ermöglicht und die Auslastung der Geräte maximiert. Das Gerät verfügt außerdem über schnelle Kammer-Kammer-Transferzeiten und effiziente Wafer-Handhabungsmechanismen, um Leerlaufzeiten zu minimieren und die Gesamtproduktivität zu erhöhen. Darüber hinaus umfasst LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX erweiterte Prozessüberwachungs- und Diagnosefunktionen, um eine optimale Leistung und Prozessstabilität zu gewährleisten. Das System ist mit In-situ-Messtechnik-Tools zur Echtzeit-Überwachung wichtiger Prozessparameter ausgestattet, die eine schnelle Erkennung von Prozessabweichungen und Anpassungen zur Aufrechterhaltung der Prozessintegrität ermöglichen. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Fehlererkennungs- und Vorhersagealgorithmen, die Prozessunterbrechungen verhindern und Ausfallzeiten minimieren. Insgesamt ist 2300e4 Exelan Flex GX eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die fortschrittliche Fähigkeiten für Halbleiterherstellungsprozesse bietet. Mit seiner innovativen Technologie, benutzerfreundlichen Funktionen und hoher Produktivität ist das Werkzeug ideal, um die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Ob für Ätz-, Asche- oder andere Prozessanwendungen, LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX liefert konstante, zuverlässige Leistung für die Hochleistungs-Halbleiterproduktion.
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