Gebraucht LAM RESEARCH 2300e4 KIYO MCX #9252292 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300e4 KIYO MCX ist ein Mehrkammer-Ätzer/Ascher für die Serienproduktion in der Halbleiterindustrie zum Ätzen und Aschen von Siliziumscheiben. Es bietet eine zuverlässige, hochautomatisierte Lösung für Tiefätzen und ultrafeine Veraschungsanforderungen. Der KIYO MCX bietet eine effiziente Gasausnutzung, einen hohen Durchsatz und eine hohe Prozessqualität. Der KIYO MCX wurde entwickelt, um einen ultrafeinen Ätz- und Ascheprozess bereitzustellen, der für hohe Fallraten, Lückenbildung und Schrittabdeckung entscheidend ist. Es umfasst fortschrittliche Technologien wie LiPS (Lithographie, Plasmaquelle) und IMPRIME (ionisierter Metallplattenreaktor), um einen High-End-Ätzprozess mit hoher Genauigkeit und enger Kontrolle der Ätzraten zu ermöglichen. Der KIYO MCX verfügt zudem über eine neue Argon-reiche F2-Chemie zur Verbesserung der Prozessleistung und Flexibilität. Der KIYO MCX ist mit zwei Doppelkammern und einer einzigen Kammer konfiguriert. Jede Doppelkammer ist für Ätzprozess bzw. Aschevorgang ausgelegt. Die zwischen diesen Doppelkammern befindliche Einzelkammer ist zur physikalischen Reinigung und Haftreinigung ausgebildet. Die KIYO MCX-Kammer nutzt die neuesten Technologien wie ICP (Inductively Coupled Plasma), Sub TIP (Sub-Thermal Ionization) und externe Hohlraumquellen (ECS), um überlegene Leistung zu bieten. Alle drei Kammern werden in eine Einheit integriert und zentral durch einen benutzerdefinierten Motion Controller verwaltet. Der KIYO MCX bietet zudem eine breite Palette an Steuerungs- und Sicherheitsfunktionen. Es ist mit internen Sicherheitssensoren und kundeneinstellbaren bodennahen Nothaltestellen konfiguriert. Es ist auch mit ausgeklügelten thermischen Überwachungs- und Isolationssystemen ausgestattet, um den Prozess vor thermischen Schocks zu schützen. Darüber hinaus ist der KIYO MCX für die hocheffiziente Gasausnutzung konzipiert, was zu einem geringeren Gasverbrauch und geringeren Kosten führt. Darüber hinaus bietet die fortschrittliche Software Prozessüberwachung, Rezeptausführung, Analysefunktionen und ein Datenerfassungssystem. Das KIYO MCX Etch/Asher System ist speziell auf die Anforderungen der Serienproduktion in der Halbleiterindustrie ausgelegt. Durch die Integration fortschrittlicher Technologien wie LiPS, IMPRIME, Argon-rich F2 Chemistry, ICP, Sub TIP und ECS ist es in der Lage, überlegene Ätz-/Ascheprozesse mit extrem hoher Genauigkeit bereitzustellen. Darüber hinaus bietet es eine breite Palette von Steuerungs- und Sicherheitsmerkmalen, die für die Prozesssicherheit in der Serienproduktion unerlässlich sind. Schließlich bietet die fortschrittliche Software Prozessüberwachung, Rezeptausführung, Analysefunktionen und ein Datenerfassungssystem, um die Prozesseffizienz und Kosteneinsparungen zu maximieren.