Gebraucht LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293751704 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX ist ein Ätzer/Ascher für mehrere Prozesse auf verschiedenen Substraten. Es ist mit einer großen Bearbeitungsfläche von 2650 mm x 1950 mm ausgestattet, sodass es bis zu drei vollwertige 300-mm-Wafer gleichzeitig aufnehmen kann. Die Hardware wurde für vier Prozesszonen, den IMP-Modus (Integrated Multiple Process) und 8 optionale Zonenkonfigurationen entwickelt. Der 2300e5 wurde entwickelt, um fortschrittliche Prozesssteuerung und LMD-Fähigkeit (Low Metallization Drift) bereitzustellen und verfügt über einen optionalen optischen Sensor in der Kammer, der eine höhere Prozesswiederholbarkeit und -gleichmäßigkeit ermöglicht. Es ist mit einer automatisierten Ausrüstung für die schnelle und einfache Substrathandhabung konstruiert und verfügt über ein modernes Sicherheitsverriegelungssystem, um das Risiko des menschlichen Kontakts mit Kammerkomponenten während des Betriebs zu verringern. Der 2300e5 ist mit mehreren Funktionen für einen schnellen, effizienten Prozess konstruiert. Zu diesen Funktionen gehören Echtzeitanpassungen für HF, Gas- und Temperatursteuerung, eine schnelle Wärmeglüheinheit (RTA) und eine großformatige Vakuumpumpe, um schnelle Evakuierungen zu ermöglichen. Die Maschine ist sehr anpassbar, mit einer Reihe von Plasmaquellen, Netzteilen und Prozessrezepten. Der Exelan Flex EX bietet auch umfassende Überwachungs- und Berichtsfunktionen, einschließlich Echtzeit-Anzeige von Prozessvariablen, automatische Kalibrierung und automatisierte Lücken- und Fokuskalibrierungen, einen In-situ-Ätzratenmonitor und ein RTP-Programm. Der Zugriff auf die eingebaute Hardware, Software und Steuerung des 2300e5 kann über CCom und serielle Schnittstellen oder über eine mit Ethernet verbundene Benutzeroberfläche erfolgen. 2300e5 Exelan Flex EX wurde entwickelt, um Anwendern einen effizienten und zuverlässigen Ätz- und Ascheprozess auf mehreren Substraten mit mehreren Prozessen zu ermöglichen. Seine Kombination aus fortschrittlicher Hardware und Software macht es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, von der fortschrittlichen Halbleiterverarbeitung über industrielles Drucken und Beschichten. Mit der Fähigkeit, bis zu drei vollwertige 300-mm-Wafer und Funktionen wie Prozesssteuerung, bestimmte Analyse- und Überwachungsfunktionen, schnelles thermisches Glühen und ein automatisiertes Lieferwerkzeug zu verarbeiten, ist LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX ein vielseitiger und leistungsstarker Ätzer/Ascher.