Gebraucht LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293758911 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX
ID: 293758911
Wafergröße: 12"
Dielectric etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX ist ein Ätzer/Ascher der nächsten Generation für die Fertigung fortschrittlicher Halbleiter-Frontend-Bauelemente. Dieser Ätzer/Ascher kombiniert die marktführende Exelan Single-Wafer-Ätztechnologie mit einem neuen Multi-Mode-Kammerdesign und mehreren Leistungsverbesserungen. Diese fortschrittliche Ätzplattform verfügt über eine große Anzahl integrierter Prozessmodule für mehr Flexibilität, Durchsatz und Ertrag. Der Exelan Flex EX Ätzer/Ascher ist mit einer breiten Prozessfähigkeit für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen mit breitem Prozessfenster ausgestattet. Das System nutzt Hochenergiequelle und Ätzquelle in einer direkten Quellkonfiguration mit einem Wafer, um überlegene Ätzgleichmäßigkeit und Produktqualität zu bieten. Die patentierte Active Asher-Technologie bietet eine überlegene Endpunktsteuerung während des Aschebetriebs. Die erweiterte Multi-Mode-Kammer wurde entwickelt, um Prozessflexibilität zu ermöglichen und einen höheren Volumendurchsatz zu niedrigen Kosten pro Wafer zu ermöglichen. Darüber hinaus bietet der Exelan Flex EX ein intuitives proprietäres Steuerungssystem, das eine einfache Bedienung und Kontrolle der Genauigkeit bei Ätz- und Aschevorgängen gewährleistet. Dieses Steuerungssystem bietet eine vollständige Palette von Funktionen zur Prozessüberwachung, -steuerung und -diagnose für ein umfassendes Prozessmanagement. Es ist auch mit integrierten Hard- und Software-Tools ausgestattet, um eine schnelle Anpassung an unterschiedliche Prozessanforderungen und Anwendungen zu ermöglichen. Der Exelan Flex EX Ätzer/Ascher ist die ideale Wahl für fortgeschrittene Halbleiterproduktionsumgebungen einschließlich der hochdichten Geräteherstellung. Seine robuste, skalierbare Plattform ist so konzipiert, dass sie wiederholbare, zuverlässige Ergebnisse liefert und gleichzeitig Kosten- und Wartungsanforderungen reduziert. Mit seiner hohen Produktivität, hervorragenden Prozessfähigkeit und überlegener Prozesssteuerung ist 2300e5 Exelan Flex EX die ideale Wahl für optimierte Leistung und Ausbeute in der heutigen fortschrittlichsten Halbleiterbauelementherstellung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor