Gebraucht LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293668506 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX (Chemical Mechanical Planarization) Ätzer/Ascher ist ein revolutionäres Ätzwerkzeug, mit dem komplexe Merkmale in eine Vielzahl von Materialien geätzt werden. Es handelt sich um eine Mehrkammer-Ätz- und Aschermaschine, die speziell für F&E- und Produktionsanwendungen entwickelt wurde. 2300e5 Exelan Flex FX verwendet einen chemisch-mechanischen Planarisierungsprozess (CMP), um hochgenaue und konstant einheitliche Merkmale in jedes Material einzufügen, ohne Einschränkungen in Größe und Form. Die Maschine ist mit einer Doppelätzkammer ausgestattet, die in der Lage ist, Merkmale von bis zu 0,075 Mikrometer Dicke mit Kombination aus Serie von Ionenbombardements und nassen oder trockenen chemischen Ätzen zu produzieren. Die Kammern können für ein einzelnes Ätzen, zwei Ätzen und Einzeltrimmen oder kombiniertes Ätzen/Trimmen eingerichtet werden. All dies kann vor Ort erfolgen, ohne dass Ressourcen gewechselt werden müssen. Die Maschine verfügt auch über ein integriertes Wafer-Tracking-System, das es dem Benutzer ermöglicht, den laufenden Ätzprozess zu überwachen, und Audit-Trail für Prozess- und Ätzrezepte. Die Software kann sogar eingerichtet werden, um den Endpunkt des Prozesses zu überwachen, um sicherzustellen, dass der Wafer richtig geätzt wird. Der Ätzer/Ascher ist mit einer Sicherheitsverriegelungseinheit ausgelegt, die jedes Risiko von Waferbruch oder Manipulation ohne Genehmigung beseitigt. Die Tank- und Pumpensysteme sind für jedes Ätzmittel isoliert, so dass keine Kreuzkontamination oder versehentliche Verwechslung verschiedener Ätzmittel möglich ist. Eines der bemerkenswertesten Merkmale von LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX ist seine erweiterten Automatisierungsfunktionen. Der gesamte Prozess wird von einer Steuerungsmaschine verwaltet, die die Integration mit anderen Fertigungssteuerungssystemen ermöglicht und hilft, wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das Tool ist auch mit einem OPCUA-Kommunikationsprotokoll für den Anschluss an andere lokale und entfernte Maschinen ausgestattet. 2300e5 Exelan Flex FX ist ein vielseitiges und zuverlässiges Etcher/Asher-Asset für Produktions-, Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Die Maschine kombiniert fortschrittliche Präzisionsfunktionen und Automatisierungsfähigkeit, wodurch komplexe Funktionen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit geätzt werden können. Dies bietet Herstellern mehr Flexibilität und Kosteneffizienz und ermöglicht es ihnen, komplexe Ätzprozesse innerhalb kurzer Zeit und mit minimalem Abfall abzuschließen.