Gebraucht LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293754175 zu verkaufen
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ID: 293754175
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Dielectric etcher, 12"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Process: Oxide
(4) Load ports
Position 1,2,3,4,5:
Gases:
C4F6
COS
O2
CH2F2
C4F8
Ar
CHF3
H2
NF3
N2
CF4
Power supply: 200 AC, 3 Phase
2014 vintage.
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