Gebraucht LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX #9252293 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX ist eine derzeit auf dem Markt befindliche Ätz-/Aschemaschine für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen. Es handelt sich um ein Mehrkammersystem mit vier integrierten Prozesskammern, das sowohl Ätz- als auch vakuumunterstützte chemische Reinigung ermöglicht. Diese Einheit verfügt über eine sehr große Kammer bietet großzügigen Raum für Komponenten und Baugruppen, so dass die Verarbeitung von größeren Substraten und einzigartige Formen. Es kann mit einer oder mehreren zusätzlichen Komponenten, wie einem integrierten Blasenwafer-Handler, für zusätzlichen Komfort und Produktivität geladen werden. Die Maschine basiert auf einer zuverlässigen Gleichstrom-Hohlkathoden-Plasmaquelle, die eine verbesserte Gleichmäßigkeit und präzise Kontrolle über Ätzraten und Selektivität bietet. Es kann eine gleichmäßige Ätzrate über eine Reihe von Ätzchemien erreichen und ist für ein sehr schnelles Ätzen einer breiten Palette von Materialien ausgelegt. Dieser Ätzer/Ascher verwendet auch eine einstellbare Reinigungssteuerungsfunktion, die es ermöglicht, Plasma- „Marmor“ zu verwalten und die Leistung von Kohlenstoffverunreinigungsprozessen zu verbessern. Es verfügt über Gleichstrom- und HF-Netzteile, die eine präzise Steuerung der Ätzraten ermöglichen. Der KIYO MCX ist auch in der Lage, chemische Reinigung mit einer Reihe von Lösungen. Dies geschieht entweder batchartig oder inline in vakuumunterstützten Prozessen, was eine integrierte Reinigung ermöglicht und keine speziellen Rüstschritte im Vergleich zu batchartigen Prozessen erfordert. Die vakuumunterstützte chemische Reinigung kann die Reinigungsqualität im Vergleich zur konventionellen Chargenreinigung erheblich verbessern. Das Tool ist mit einem Control-Asset ausgestattet, das erweiterte Funktionen wie automatische Schnellreaktionsprozesssteuerung in Echtzeit bietet und eine verbesserte Einheitlichkeit und bessere Ergebnisse ermöglicht. Es bietet auch eine automatische Rezeptsteuerung, um die Variabilität des Prozesses zu reduzieren, und einen großen Touchscreen-LCD-Monitor zur Überwachung und Manipulation der Ätz- und Reinigungsprozesse. Kurz gesagt, 2300e5 KIYO MCX ist ein zuverlässiges Ätzer/Ascher-Modell, das verwendet werden kann, um schnell und gleichmäßig eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, mit Gleichstrom- und HF-Netzteilen. Es bietet auch effiziente vakuumunterstützte chemische Reinigungsfunktionen mit fortschrittlicher automatischer Prozesssteuerung. Dadurch ist der KIYO MCX eine gute Wahl für Produktionsumgebungen, die schnelle, konsistente und zuverlässige Ergebnisse erfordern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor