Gebraucht LAM RESEARCH 2300e6 Flex FX #293826568 zu verkaufen
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ID: 293826568
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2019
Etcher, 12"
(6) Flex FX Process chambers
(6) Gas boxes
Power box
Transfer chamber
2019 vintage.
LAM RESEARCH 2300e6 ist ein Ätzer/Ascher der nächsten Generation, der für präzise Prozesssteuerung und überlegene Leistung entwickelt wurde. Diese Ausrüstung bietet die Fähigkeit, Muster mit hoher Genauigkeit zu ätzen und zu aschen, was eine präzise Musterbildung und Verringerung von Musterdefekten ermöglicht. Das System verfügt über ein zuverlässiges und einfach zu bedienendes Design, einen hohen Durchsatz und eine geringe Partikelverschmutzung. 2300e6 bietet eine breite Palette von Verarbeitungsoptionen, einschließlich Hochgeschwindigkeitsetch, Tieftemperaturetch, Plasmaabscheidung und HF-Plasmaetch. Das Gerät verfügt über fortschrittliche Instrumente zur präzisen Probenhandhabung und -steuerung, wie einen Autolader, einen Wafer-Handling-Roboter, eine temperaturgesteuerte Umgebung und einen Partikeldetektor. Diese Maschine enthält auch ein computergesteuertes integriertes Prozesssteuerungstool, das jeden Prozessschritt überwacht, optimiert und steuert. Es ermöglicht eine hochpräzise Kontrolle von Ätzzeiten, Drücken, Temperaturen und Gasen. Die Anlage nutzt eine verbesserte technologische Infrastruktur in Form eines Hochfrequenznetzteils, eines Temperaturreglers, eines Luftdruckmessers und einer IC-Wägezelle. Es verfügt auch über integrierte Diagnosen, mit denen Benutzer Prozessparameter überwachen und anpassen können, um die Ätzleistung zu verbessern. Zusätzlich wird LAM RESEARCH 2300e6 mit fortgeschrittenen Hochleistungsbildaufbereitungswerkzeugen für die nichtzerstörende Inspektion im Prozess ausgestattet. 2300e6 eignet sich für die Großserienfertigung von Geräten wie Displays und Halbleiterbauelementen sowie für komplexe Projekte, die eine präzise Ätzung bis zum Sub-Mikron-Niveau erfordern. Dieses Werkzeug sorgt für eine bessere Kontrolle des Ätz- und Aschevorgangs, wodurch bei fertigen Mikroschaltgeräten möglichst hohe Ausbeuten erzielt werden können. LAM RESEARCH 2300e6 ist in der Lage, die Genauigkeit innerhalb von 1 Nanometer zu halten und bietet eine ausgezeichnete Auflösung von 200 Angström. Durch diese fortschrittlichen Technologien bietet 2300e6 außergewöhnlich zuverlässige Leistung in verschiedenen Prozessbereichen. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Hersteller, die präzise und wiederholbare Ätzergebnisse benötigen. Dieses Modell eignet sich für eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen und ist darauf ausgelegt, eine hohe Serienproduktion mit enger Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses zu bewältigen.
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