Gebraucht LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP #293649521 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung fortschrittlicher Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Die Ausrüstung ist mit fortschrittlichen Prozesskontrollfunktionen ausgestattet, um präzise, wiederholbare Prozesse zu gewährleisten. Die Kapazitäten von 2600 E6 Flex FXPs sind bei der Entwicklung fortschrittlicher Halbleitermaterialien unübertroffen. LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP Etcher/Asher verfügt über die höchste Reproduzierbarkeit des Substrats während des gesamten Ätz- und Ascheprozesses. Im Kern des Systems befindet sich ein Wafertransportmechanismus, der eine überlegene reproduzierbare Substratbewegung und -ausrichtung während des gesamten Ätz- und Ascheprozesses ermöglicht. Diese Einheit ermöglicht eine präzise, wiederholbare Maßsteuerung und Prozesskonsistenz. Die Maschine ist für ultrahochauflösende Plasmaätz- und Ascheranwendungen auf beiden ebenen Oberflächen oder tiefen Gräben und Seitenwandansätzen konzipiert. 2600 E6 Flex FXP bietet auch hochkonzentrierte Ionenquelle und Hochdruckglühentladung zum Ätzen, kombiniert mit hochwertiger Plasmaveraschung für höchste Prozessleistung. Das intensive Plasma bietet die Flexibilität, eine Reihe von Wafertypen für eine Vielzahl von Anwendungen zu verarbeiten. Das Tool verwendet auch mehrere Plasmaquellen, um hohe Ätzraten und ein breites Prozessfenster zu ermöglichen. Für eine optimale Prozesssteuerung bietet LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP zudem eine umfassende Palette fortschrittlicher Rückkopplungs- und Steuerungsfunktionen für die Prozesssteuerung, einschließlich Endpunktsteuerung und Temperatur/Druck-Rückkopplung in Echtzeit. 2600 E6 Flex FXP ist ein wesentliches Werkzeug für jede fortschrittliche Halbleiterwerkstoffherstellungsumgebung, das wiederholbare und reproduzierbare Prozesse und eine hohe Prozesssteuerung bietet. Die Kombination aus überlegener Substratätz-/Ascheperformance, fortschrittlicher Rückkopplung der Prozesssteuerung und außergewöhnlicher Prozessgenauigkeit macht LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterproduktion.