Gebraucht LAM RESEARCH 300NX #9375202 zu verkaufen

LAM RESEARCH 300NX ist eine Etcher/Asher-Ausrüstung für Dünnschichtabscheidungsprozesse in der Halbleiterindustrie. Dieses System ist eine Mehrkammer-Vakuum-Abscheidungseinheit, die in Batch-, Single-Wafer- und sequentiellen Produktionsverfahren arbeiten kann. Die Maschine besteht aus drei Hauptkammern mit jeweils einer eigenen Prozessgassteuerung und der Fähigkeit, zu Basisdrücken von 10-7 mBar zu evakuieren. Die erste Kammer ist die Ladekammer mit einer Lastklemme zur Befestigung des Wafers und einer Plattform, die bis zu fünf Wafer tragen kann. Nach Beladen des Wafers wird die Kammer durch die Turbopumpe evakuiert, um den gewünschten Druck zu erreichen. Die zweite Kammer ist die Hauptprozesskammer, die die elektrostatische Ionenquelle enthält, die den reaktiven Ionenätzprozess steuert. Dies ist eine Gleichspannungsquelle, Gleichstrom, die dem Ätzprozess Ionenenergie zuführt. Zusätzlich enthält die Prozesskammer einen Plasmagenerator mit integrierter Heizung zur Steuerung des Temperaturprofils beim Ätzen. Die dritte Kammer ist die Entlüftungskammer, in der der Druck an die Atmosphäre abgegeben wird. 300NX bietet mehrere Funktionen, um den Durchsatz zu erhöhen, die Prozesskontrolle und die Einheitlichkeit zu verbessern und die Wiederholbarkeit der Prozesse zu erhöhen. Es ist mit einem präzisen elliptischen Spannfutter ausgestattet, um eine korrekte Ausrichtung zwischen dem Wafer und der Ionenquelle zu gewährleisten, sowie eine Auto-Pilot-Funktion, die Ätzgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit maximiert. Das Tool bietet auch sowohl 3D-Endpunkterkennung als auch Substrat-Temperaturzuordnung, so dass Benutzer Prozessendpunkte überwachen und Temperaturschwankungen erkennen können. LAM RESEARCH 300NX ist aus Edelstahl gefertigt und auf die Reinraumnormen der Klasse 1 ausgelegt und bietet eine staubfreie Umgebung für die routinemäßige Ätzverarbeitung. Ein zentrales Bedienfeld bietet eine intuitive Arbeitsumgebung, die es Benutzern mit unterschiedlicher Erfahrung ermöglicht, das Gerät zu bedienen. Seine Stabilität und Reparaturfähigkeit machen es zu einem sehr zuverlässigen Modell für alle Halbleiterätzanwendungen.