Gebraucht LAM RESEARCH 384T #9383400 zu verkaufen

LAM RESEARCH 384T ist ein Ätzer (auch Ascher genannt), der sich hauptsächlich zum Reinigen, Entwickeln und Ätzen von Substraten in der Halbleiterindustrie eignet. Das Gerät verfügt über eine Edelstahl-Prozesskammer mit einem HF-Hauptsockel, der das Plasma über seine Fähigkeit erzeugt, die notwendigen Temperatur- und Leistungsstufen zu erzeugen. Die Prozesskammer ist in einer Vakuumhülle eingeschlossen, die bis zu einem Vakuumniveau von 10-7 Torr gehalten werden kann. Es wurde ein möglichst kompaktes System mit außerhalb der Hauptbearbeitungskammer angeordneten Stützbauteilen, wie der Sekundärkammer, angestrebt. Das Gerät verfügt zudem über ein Multi-Gate-Bias-Stromversorgungsmodul, das bis zu 2000 Watt HF-Leistung für den Ätzprozess benötigt. Diese Leistung ist in Schritten von 0,2 kW einstellbar, und die Maschine kann auch auf mehrere Ausgangsleistungen gleichzeitig programmiert werden. Die Prozesskammer nutzt einen Top-Down-Ansatz, der eine schnellere Verarbeitung und leichtere Entfernung gasförmiger Nebenprodukte ermöglicht. Darüber hinaus umfassen die Werkzeugsysteme auch eine unterteilte Schlitzplatte, die einstellbar ist, um die Auswahl verschiedener Gasströme zu ermöglichen, wodurch eine weitere Flexibilität für den Ätzvorgang gegeben ist. Die Prozesskammer verwendet eine einzige Kombinationsgasquelle, die eine Reihe unterschiedlicher Quellgase für den Prozess einer Sekundärvakuumkammer bereitstellen kann. Dies ermöglicht schnellere Bearbeitungszeiten sowie eine effizientere Ausnutzung des Ätzprozesses. Die Anlage umfasst auch ein fortschrittliches Drosselklappenregelungsmodell, mit dem Benutzer die Verteilung von Prozessgasen in der Kammer genau regeln können. Die Ausrüstung ist mit rückseitigen Kühlstrahlen ausgelegt, die Prozesswärme effizient abführen und höhere Leistung und niedrigeren Temperaturbetrieb ermöglichen. Schließlich verfügt das System über eine Ferndiagnose-Option, mit einer Modbus RTU-Kommunikationsschnittstelle, die es einfach macht, das Gerät aus der Ferne zu überwachen und zu steuern. Insgesamt ist 384T ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der den Anwendern eine effiziente, genaue und kostengünstige Lösung für die Halbleitersubstratverarbeitung bietet. Das Design der Maschine unterstützt hohe Temperaturen, bis zu 2000 Watt HF-Leistung und zahlreiche Gasquellen, und seine erweiterten Steuerungsfunktionen bieten eine einfache Überwachung und Bedienung.