Gebraucht LAM RESEARCH 4400 #9292700 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4400 ist ein fortschrittlicher Produktionsätzer/Ascher, der den Anforderungen der anspruchsvollsten mikroelektronischen Geräteherstellungsanwendungen gerecht wird. Es verfügt über Dual-Beam Plasma Enhanced CVD (PECVD) Technologie, gekoppelt mit der proprietären Gas-Lieferung Ausrüstung. Dieser Oberflächenkonditioner bietet einen homogenen und wiederholbaren Ätz- oder Entfernungsprozess von harten Dielektrika oder Mikrohohlräumen sowie eine hochgenaue Plasmaveraschung von Resist. 4400 verfügt über einen modularen Aufbau, der maximale Flexibilität und Skalierbarkeit ermöglicht. Sein intelligentes Mustererkennungssystem sorgt für genaue, gleichmäßige Ergebnisse, während seine großen vorverpackten Körbe einen einfachen und effizienten Transfer zwischen den Operationen ermöglichen. Dieser Ätzer/Ascher hat einen großen Source-to-Substrat-Abstand, der eine erhöhte Lebensdauer und höhere Feldgleichförmigkeit bietet und eine hohe Ätzrate und niedrige Ätztiefenvariationen ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die optionale bipolare frequenzmodulierte Stromversorgungstechnologie die Entfernung von langsam diffundierenden Polymeren und Resists. LAM RESEARCH 4400 verfügt zudem über eine autonome und halbautonome Wafer-Handhabung für schnelles und einfaches Be- und Entladen sowie Maskieren. Seine intuitive Windows-basierte Benutzeroberfläche bietet zuverlässige Kommunikation und Komfort. 4400 ist in der Lage, verschiedene Ätz- und Ascheanwendungen durchzuführen, wie z. B. MEMs und NVM-Anwendungen, SIR (Simultaneous Oxide Etch and Removal), Poly Gate Etch, Hartmaske Open Etch, Poly und Oxid Etch, Poly-Oxid Streifen, Dieser Ätzer/Ascher bietet eine breite Palette von Rezepturen und ermöglicht einstellbare Schrittkombinationen zur Anpassung der Belichtungszeiten und des Gasflusses/-drucks. Darüber hinaus bietet es niedrige Kosten für das Prozessportfolio, einen hohen Durchsatz und verbesserte Zykluszeiten. Um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten, bietet LAM RESEARCH 4400 eine umfassende Überwachungseinheit mit Sensoren für Druck, Temperatur und Kammerspülung. Dieser Ätzer/Ascher bietet auch optionale Unterstützung für kryogene Gase und bietet eine hochauflösende Linsenmaschine für die Ausrichtgenauigkeit. Insgesamt bietet 4400 ein unvergleichliches Maß an Leistung und Produktivität und ist damit eines der besten Ätz-/Aschersysteme auf dem Markt.